Semicorex bietet Keramik in Halbleiterqualität für Ihre OEM-Halbfabrikationswerkzeuge und Wafer-Handhabungskomponenten mit Schwerpunkt auf Siliziumkarbidschichten in der Halbleiterindustrie. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Silizium-Wafer-Trägern. Unser Silizium-Wafer-Träger hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDie langlebigen Fokusringe von Semicorex für die Halbleiterverarbeitung sind so konzipiert, dass sie den extremen Umgebungen von Plasmaätzkammern standhalten, die in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Unsere Fokusringe bestehen aus hochreinem Graphit, der mit einer dichten, verschleißfesten Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung beschichtet ist. Die SiC-Beschichtung weist hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit auf. Um die Lebensdauer unserer Fokusringe zu verbessern, tragen wir SiC im chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Waferhalter von Semicorex für den ICP-Ätzprozess ist die perfekte Wahl für anspruchsvolle Waferhandhabung und Dünnschichtabscheidungsprozesse. Unser Produkt zeichnet sich durch hervorragende Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit und optimale laminare Gasströmungsmuster für konsistente und zuverlässige Ergebnisse aus.
WeiterlesenAnfrage absendenDer mit ICP-Siliziumkohlenstoff beschichtete Graphit von Semicorex ist die ideale Wahl für anspruchsvolle Wafer-Handhabung und Dünnschichtabscheidungsprozesse. Unser Produkt zeichnet sich durch hervorragende Hitze- und Korrosionsbeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit und optimale laminare Gasströmungsmuster aus.
WeiterlesenAnfrage absendenWaferträger, die beim epixialen Wachstum und bei der Waferhandhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex SiC-beschichteter PSS-Ätzträger, der speziell für diese anspruchsvollen Epitaxie-Geräteanwendungen entwickelt wurde. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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