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SiC-beschichteter Zylindersuszeptor für epitaktisches LPE-Wachstum

SiC-beschichteter Zylindersuszeptor für epitaktisches LPE-Wachstum

Der SiC-beschichtete Zylindersuszeptor von Semicorex für das epitaxiale LPE-Wachstum ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen längeren Zeitraum ausgelegt ist. Sein gleichmäßiges thermisches Profil, das laminare Gasströmungsmuster und die Vermeidung von Kontaminationen machen es zur idealen Wahl für das Wachstum hochwertiger Epitaxieschichten auf Waferchips. Seine Anpassbarkeit und Kosteneffizienz machen es zu einem äußerst wettbewerbsfähigen Produkt auf dem Markt.

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Laufempfänger-Epi-System

Laufempfänger-Epi-System

Das Semicorex Barrel Susceptor Epi System ist ein hochwertiges Produkt, das eine hervorragende Beschichtungshaftung, hohe Reinheit und Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen bietet. Sein gleichmäßiges thermisches Profil, das laminare Gasströmungsmuster und die Vermeidung von Kontaminationen machen es zur idealen Wahl für das Wachstum von Epixieschichten auf Waferchips. Seine Kosteneffizienz und Anpassbarkeit machen es zu einem äußerst wettbewerbsfähigen Produkt auf dem Markt.

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Flüssigphasenepitaxie (LPE)-Reaktorsystem

Flüssigphasenepitaxie (LPE)-Reaktorsystem

Das Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) Reaktorsystem ist ein innovatives Produkt, das eine hervorragende thermische Leistung, ein gleichmäßiges thermisches Profil und eine hervorragende Beschichtungshaftung bietet. Seine hohe Reinheit, Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen und Korrosionsbeständigkeit machen es zur idealen Wahl für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Seine anpassbaren Optionen und seine Kosteneffizienz machen es zu einem äußerst wettbewerbsfähigen Produkt auf dem Markt.

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SiC-beschichteter Suszeptorzylinder für die Epitaxie-Reaktorkammer

SiC-beschichteter Suszeptorzylinder für die Epitaxie-Reaktorkammer

Der SiC-beschichtete Suszeptorzylinder für die Epitaxie-Reaktorkammer von Semicorex ist eine äußerst zuverlässige Lösung für Halbleiterfertigungsprozesse und zeichnet sich durch hervorragende Wärmeverteilungs- und Wärmeleitfähigkeitseigenschaften aus. Es ist außerdem äußerst beständig gegen Korrosion, Oxidation und hohe Temperaturen.

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EPI 3 1/4

EPI 3 1/4" Laufempfänger

Der Semicorex SiC-beschichtete EPI 3 1/4" Barrel Susceptor bietet hervorragende thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Angriffe, während das Graphitsubstrat hervorragende Wärmeübertragungseigenschaften bietet.

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