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Produkte
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Zylindrische Graphitheizungen
Die zylindrischen Graphitheizgeräte von Semicorex sind Widerstandsheizgeräte, die speziell für die heiße Zone des monokristallinen Siliziumwachstums entwickelt wurden. Unterstützt durch eine erstklassige Materialauswahl und bewährte Verarbeitungstechnologie bietet Semicorex unseren geschätzten Kunden konkurrenzlose Heizlösungen mit branchenführender Leistung und deutlich niedrigeren Gesamtbetriebskosten.
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Ofenrohre für LPCVD
Semicorex-Ofenrohre für LPCVD sind präzisionsgefertigte Rohrkomponenten mit gleichmäßiger und dichter CVD-SiC-Beschichtung. Semicorex-Ofenrohre für LPCVD wurden speziell für den fortschrittlichen Niederdruck-chemischen Gasphasenabscheidungsprozess entwickelt und sind in der Lage, geeignete Hochtemperatur- und Niederdruck-Reaktionsumgebungen bereitzustellen, um die Qualität und Ausbeute der Wafer-Dünnschichtabscheidung zu verbessern.
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Graphit-Isolierschild
Semicorex Graphite Insulation Shield ist eine starre Hochtemperatur-Graphitfilzkomponente, die zur Verbesserung der thermischen Effizienz und zum Schutz kritischer Strukturen in der heißen Zone des Ofens entwickelt wurde. Semicorex liefert zuverlässige Hot-Zone-Komponenten mit stabiler Qualität, schneller Lieferung und wettbewerbsfähigen Kosten.*
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Wafer-Vakuumspannfutter
Semicorex Wafer-Vakuum-Chucks sind hochpräzise SiC-Vakuum-Chucks, die für eine stabile Waferfixierung und Positionierung auf Nanometerebene in fortschrittlichen Halbleiterlithographieprozessen entwickelt wurden. Semicorex bietet leistungsstarke inländische Alternativen zu importierten Vakuumspannfuttern mit schnellerer Lieferung, wettbewerbsfähigen Preisen und reaktionsschnellem technischem Support.*
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15" Quarzglasglocke
Die 15-Zoll-Quarzglocke von Semicorex ist eine hochpräzise Reaktionskammerkomponente, die sorgfältig aus hochreinem Quarzglas gefertigt wurde. Sie wurde für die anspruchsvollsten Halbleiterumgebungen entwickelt und dient als kritische transparente Barriere für chemische Gasphasenabscheidung (CVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und epitaktische Wachstumsprozesse. Semicorex ist bestrebt, Kunden weltweit qualitativ hochwertige und kosteneffiziente Produkte anzubieten.*
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SiC-Keramik-Vakuumspannfutter
Semicorex SiC-Keramik-Vakuumspannfutter werden aus hochreinem gesintertem dichtem Siliziumkarbid (SSiC) hergestellt und sind die ultimative Lösung für die hochpräzise Handhabung und Ausdünnung von Wafern. Sie bieten beispiellose Steifigkeit, thermische Stabilität und Ebenheit im Submikrometerbereich. Semicorex ist bestrebt, Kunden weltweit qualitativ hochwertige und kosteneffiziente Produkte anzubieten.*
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