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Die dreiteiligen Graphittiegel von Semicorex sind hochleistungsfähige geteilte Graphittiegel, die speziell für Prozesse zur Züchtung von einkristallinem Silizium entwickelt wurden. Der dreiteilige Graphittiegel von Semicorex ist ideal für die thermische Behandlung hochwertiger Halbleiter und kann den Quarztiegel und seine Innenmaterialien zuverlässig stützen, um das kontrollierte Wachstum von Einkristallstrukturen zu erreichen.

Semicorex-Siliziumkarbid-Ofenrohre sind leistungsstarke SiC-Komponenten, die speziell für Hochtemperatur-Frontend-Prozesse in der fortschrittlichen Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Dank ihrer außergewöhnlichen Leistung können Semicorex-Siliziumkarbid-Ofenrohre den rauen Betriebsumgebungen mit extremen Temperaturen, korrosiven Gasen und drastischen Temperaturschwankungen standhalten.

Semicorex CVD SiC-beschichtete Waferboote sind hochpräzise Keramik-Tragewerkzeuge aus ultrahochreinem Siliziumkarbid, die sich durch hohe Zuverlässigkeit, hervorragende Sauberkeit und längere Lebensdauer auszeichnen. Als ideale Lösung für die thermische Waferverarbeitung können die mit SiC beschichteten CVD-Waferboote von Semicorex eine sichere und stabile Positionierung der Wafer während der Transfer- und Verarbeitungsphasen erreichen.

Der Erdungsring für die obere Elektrode von Semicorex ist eine hochreine CVD-SiC-Plasmakontrollkomponente, die das elektrische Potenzial stabilisiert und eine gleichmäßige Plasmaverteilung in fortschrittlichen Halbleiterätz- und -abscheidungssystemen unterstützt. Semicorex liefert weltweit Präzisions-CVD-SiC-Erdungsringe und plasmabeschichtete Halbleiterkomponenten und bietet maßgeschneiderte Abmessungen, elektrische Eigenschaften und zuverlässige globale Lieferung für führende Hersteller von Halbleiterausrüstungen.*

Der Semicorex Etching Edge Ring ist eine hochreine CVD-SiC-Plasmakomponente, die die Plasmaverteilung um die Waferkante steuert und so die Gleichmäßigkeit der Ätzung, die Prozessgenauigkeit und die Gesamtleistung bei der Halbleiterfertigung verbessert. Semicorex beliefert Halbleiterhersteller auf der ganzen Welt mit fortschrittlichen CVD-SiC-Fokusringen, Erdungsringen, Duschköpfen und maßgeschneiderten Plasmakontrollkomponenten, unterstützt durch Präzisionstechnik und zuverlässige globale Lieferung.*

Semicorex-Quarz-Wafer-Reinigungstanks, präzise gefertigt aus hochreinen Quarzmaterialien, sind die unverzichtbaren Komponenten, die speziell für die Wafer-Nassreinigung in der High-End-Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Als branchenführendes Unternehmen in China ist Semicorex bestrebt, seinen Kunden stabil funktionierende und kostengünstige Quarzlösungen anzubieten.