Planetary Susceptor

Semicorex Planetary Susceceptor ist eine unverzichtbare Komponente für Halbleiter -Epitaxienreaktoren, die speziell für Aixtron G5+ -Aufätigkeit entwickelt wurden. Aus hohem Graphit konstruiert undmit Siliziumkarbid (sic) beschichtetDieser Suszeptor garantiert überlegene thermische Stabilität, außergewöhnliche chemische Resistenz und eine beispiellose Leistung in Hochtemperaturumgebungen.

Der Aixtron G5+ Epitaxy Reactor ist ein Benchmark in der Branche für GaN-, SIC- und andere zusammengesetzte Halbleiterwachstumsprozesse. Der Planetary Susceceptor ist zentral bei der Optimierung des Gasflusss, sorgt für eine präzise Waferrotation, die Aufrechterhaltung der genauen Temperaturregelung und das Erreichen einer gleichmäßigen Ablagerung von epitaxialen Schichten. Sein innovatives Design verbessert die Prozess Wiederholbarkeit erheblich und macht es zur idealen Wahl für Produktionsumgebungen mit hohem Volumen.

Schlüsselmerkmale  

- Fortgeschrittene Materialzusammensetzung: Hergestellt aus hochreinem Graphit mit einer sic-Beschichtung, die verbesserte Haltbarkeit und Widerstand gegen harte Prozessbedingungen bietet.  

- Optimierte thermische Leistung: Gewährleistet eine einheitliche Wärmeverteilung, die für das Wachstum der epitaxialen Schicht mit hoher Präzision kritisch ist.  

- Chemischer Widerstand: Die SIC -Beschichtung verhindert die Oxidation der Graphit, verlängert die Lebensdauer des Suszeptors und die Aufrechterhaltung der Prozessreinheit.  

- Präzisionstechnik: Entworfen, um die strengen Anforderungen von Aixtron G5+ -Systemen zu erfüllen, um eine nahtlose Integration und optimale Reaktoreffizienz zu gewährleisten.  

- hohe Oberflächengleichmäßigkeit: Minimiert die Partikelkontamination, die Qualität der überlegenen Wafer und eine höhere Ausbeute bei der Herstellung von Halbleitern.  

Vorteile unseres planetarischen Suszeptors  

- Verlängerte Lebensdauer: dieSic -BeschichtungVernunft und Riss erheblich reduziert, was zu einer geringeren Ersatzfrequenz und zu verringernden Betriebskosten führt.  

- Verbesserte Prozessstabilität: Gewährleistet eine konsistente Heizung und minimale thermische Gradienten, was zu einer hochwertigen Waferproduktion führt.  

- Kompatibilität und Anpassung: Erhältlich in Standard- und individuellen Designs, um die spezifischen Aixtron G5+ -Prozessanforderungen zu erfüllen.  

GraphitTeile spielen eine unverzichtbare und sehr wichtige Rolle im Halbleiterprozess. Die Qualität der Graphitmaterialien hat einen großen Einfluss auf die Qualität der fertigen Produkte. Unsere Graphit -Batch -Konsistenz und materielle Homogenität können durch den Produktionsprozess kontrolliert und garantiert werden.

1. Kleine Chargenproduktion verwendet der Carbonisierungsofen nur einen kleinen Ofen mit nur 50 Kubikmeter

2. Jedes Materialstück wird überwacht und verfolgt

3.. Mehrpunkt-Temperaturüberwachung im Ofenraum, um sicherzustellen, dass die Temperaturdifferenz in einem sehr geringen Bereich gehalten wird

4. Mehrpunkt-Temperaturüberwachung des Materials, um sicherzustellen, dass die Temperaturdifferenz in einem sehr geringen Bereich gehalten wird

Semicorex Planetary Susceceptor ist die Premium -Lösung für Aixtron G5+ -Reaktoren und bietet hervorragende thermische Stabilität, chemische Resistenz und Präzisionsleistung. Es wurde für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt, fördert höhere Waferausbeute, minimiert das Kontaminationsrisiko und verlängert die Lebensdauer der Ausrüstung. Aktualisieren Sie Ihr Epitaxy-System mit einem Top-Tier-Suszeptor, um nicht übereinstimmende Ergebnisse zu erzielen.