Planetenscheibe

Planetary Disk ist ein revolutionärer Waferträger und Suszeptor, der für Molekularstrahlepitaxie-Prozesse (MBE) in MOCVD-Öfen (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition) entwickelt wurde. Die aus hochwertigen Materialien gefertigte Planetenscheibe wurde entwickelt, um Ihre Halbleiterfertigung auf ein neues Niveau zu heben.

Die Planetenscheibe ist sorgfältig aus CVD-SiC-beschichtetem Graphit gefertigt und gewährleistet außergewöhnliche thermische Stabilität, hohe Reinheit und Beständigkeit gegenüber extremen Temperaturen. Diese fortschrittliche Materialzusammensetzung garantiert überlegene Leistung und Langlebigkeit in anspruchsvollen MOCVD-Umgebungen.

Die CVD-SiC-Beschichtung auf dem Graphitsubstrat verbessert die Wärmeleitfähigkeit und fördert so eine effiziente Wärmeübertragung während des MOCVD-Prozesses. Diese Funktion sorgt nicht nur für gleichmäßige Temperaturprofile auf dem gesamten Wafer, sondern trägt auch zu einer geringeren thermischen Belastung und einer verbesserten Gesamtausbeute bei.

Die Planetenscheibe ist maßgeschneidert und mit einer Vielzahl von Halbleiterwafergrößen kompatibel, was sie zu einer vielseitigen Lösung für verschiedene Produktionsanforderungen macht. Die Planetenscheibe ist so konstruiert, dass sie den strengen Anforderungen von MOCVD-Öfen standhält, und zeichnet sich durch außergewöhnliche Haltbarkeit und Zuverlässigkeit aus. Seine robuste Konstruktion gewährleistet eine lang anhaltende Leistung und reduziert Ausfallzeiten und Wartungskosten, die mit Waferträgern und Suszeptoren verbunden sind.