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Branchen-News

Herstellungsprozess von SiC-Keramik

Siliziumkarbidkeramik gehört zu den am häufigsten verwendeten Materialien in der Strukturkeramik. Aufgrund ihrer relativ geringen Wärmeausdehnung, hohen spezifischen Festigkeit, hohen Wärmeleitfähigkeit und Härte, Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit und vor allem ihrer Fähigkeit, auch b......

Was sind Halbleitermaterialien der ersten, zweiten, dritten und vierten Generation?

Halbleitermaterialien sind Materialien mit elektrischer Leitfähigkeit zwischen Leitern und Isolatoren bei Raumtemperatur, die in Bereichen wie integrierten Schaltkreisen, Kommunikation, Energie und Optoelektronik weit verbreitet sind. Mit der Entwicklung der Technologie haben sich Halbleitermaterial......

Welche Funktion haben Fokusringe?

Fokusringe sind die wesentlichen Komponenten, um die Gleichmäßigkeit und Stabilität der Halbleiter-Ätzprozesse sicherzustellen. Durch die präzise Steuerung elektrischer und thermischer Felder können Fokusringe das Plasma auf der Waferoberfläche konzentrieren und so konsistente Ätzergebnisse an allen......

SiC-Keramik-Gleitringdichtungen

Siliziumkarbid weist eine gute chemische Stabilität auf und widersteht verschiedenen stark korrosiven sauren und alkalischen Medien, wodurch es für Gleitringdichtungen in korrosiven Medien geeignet ist. Korrosionsverschleiß ist eine Hauptursache für den Ausfall von Reibpaarwerkstoffen. Heißgepresste......

Was sind die Partikeldefekte?

Unter Partikeldefekten versteht man die winzigen Partikeleinschlüsse im Inneren oder auf den Halbleiterscheiben. Sie können die strukturelle Integrität von Halbleiterbauelementen beschädigen und elektrische Fehler wie Kurzschlüsse und offene Stromkreise verursachen. Da diese durch Partikeldefekte v......

Warum sind vertikale Öfen zur gängigen Wahl geworden?

Vertikalöfen sind vertikal angeordnete Hochtemperatur-Heizgeräte, die speziell für die Wärmebehandlung bei der Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Das komplette vertikale Ofensystem besteht aus dem hochtemperaturbeständigen Ofenrohr, dem Heizelement, dem Temperaturkontrollsystem, dem Gaskontrolls......

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