Welche Funktion haben Fokusringe?

Fokusringe sind die wesentlichen Komponenten, um die Gleichmäßigkeit und Stabilität der Halbleiter-Ätzprozesse sicherzustellen. Durch die präzise Steuerung elektrischer und thermischer Felder können Fokusringe das Plasma auf der Waferoberfläche konzentrieren und so konsistente Ätzergebnisse an allen Stellen des Wafers gewährleisten.

Die Funktionen von Fokusringen

1. Verbessern Sie die Gleichmäßigkeit der Ätzung

Beim Ätzprozess können Fokusringe das Plasma auf das Plasma konzentrierenWaferOberfläche, die effektiv eine gleichmäßige Plasmadichte, einen gleichmäßigen Ionenbeschusswinkel und ein gleichmäßiges Energieniveau sowohl im Rand- als auch im Mittelbereich des Wafers gewährleistet. Sie korrigieren die Verteilung des elektrischen Feldes an der Waferkante, reduzieren die Ätzrate, kritische Abmessungen und Morphologieschwankungen, die durch Kanteneffekte verursacht werden, und stellen so die Ätzkonsistenz über die gesamte Waferoberfläche sicher. Wenn der Fokussierring übermäßig abgenutzt ist oder kein Brennring vorhanden ist, diffundiert das Plasma vom Rand des Wafers, was letztendlich zu nicht konformen Abweichungen in der Linienbreite zwischen Rand- und Mittelbereich führt.

2. Schützen Sie das elektrostatische Spannfutter

Fokusringe werden normalerweise außerhalb der Waferträgeroberfläche der elektrostatischen Spannvorrichtungen installiert und sind direkt Plasmabeschuss und Korrosion ausgesetzt. Dieser Ratenaufbau dient als physische Barriere, um zu verhindern, dass Plasma während des Ätzprozesses mit den elektrostatischen Spannfuttern in Kontakt kommt, wodurch das Risiko einer Plasmaschädigung erheblich verringert wird. Fokusringe können außerdem verhindern, dass während des Ätzprozesses entstehende Nebenprodukte an den elektrostatischen Spannfuttern haften, wodurch Leistungseinbußen durch Verunreinigungen und Verstopfungen der Spannfutter vermieden werden. Dies verlängert den Wartungszyklus und die Lebensdauer der elektrostatischen Spannfutter erheblich und reduziert die Wartungs- und Austauschkosten der Geräte.

Fokusringe werden üblicherweise aus hochreinem Material hergestelltQuarz, SiliziumUndSiliziumkarbidMaterialien. Dank ihrer hervorragenden Gesamtleistung werden Siliziumkarbidmaterialien nach und nach zur Hauptoption für modernste Ätzprozesse. Als vertrauenswürdiger Lieferant von Halbleiter-Fokusringen in China bietet Semicorex hohe QualitätFokusringe aus Siliziumkarbidin verschiedenen Größen, um den unterschiedlichen Anforderungen der Ätzausrüstung gerecht zu werden. Semicorex freut sich jederzeit über Ihre Anfragen und Einkäufe.