Der Vakuumspanner wird über einen Verbindungsschlauch mit der Vakuumausrüstung verbunden. Wenn das Vakuumspannfutter mit dem Werkstück, beispielsweise einem Wafer-/Dünnfilmmaterial, in Kontakt kommt, beginnt die Vakuumausrüstung zu arbeiten und erzeugt einen Unterdruck im Vakuumspannfutter. Unter at......
WeiterlesenDas Halbleiter-Quarzofenrohr ist die wesentliche Komponente, die in den wichtigsten Halbleiterherstellungsprozessen wie Diffusion, Oxidation und Glühen weit verbreitet ist. Es muss seine physikalischen und chemischen Eigenschaften stabil beibehalten, selbst wenn es über längere Zeit hohen Temperatur......
WeiterlesenSiliziumkarbid-Keramikmembranen gelten als erstklassige Filtrations- und Reinigungstechnologien und gelten als das bevorzugte Material für die Bewältigung komplexer Herausforderungen bei der Abwasseraufbereitung. Siliziumkarbid-Keramikmembranen bieten eine außergewöhnliche Leistung, die sie zur unve......
WeiterlesenDas Trockengasdichtungssystem ist das berührungslose Wellendichtungssystem, das Gas als Betriebsmedium nutzt. Durch die Bearbeitung hydrodynamischer Rillen auf den Dichtflächen nutzen Trockengasdichtungssysteme den hydrodynamischen Effekt, der bei der Rotation entsteht, um einen stabilen Gasfilm zwi......
WeiterlesenSOI-Substrat (Silicon-On-Insulator) ist eine Struktur, bei der eine Isolierschicht aus Siliziumoxid (SiO2) zwischen einer oberen Siliziumschicht und einem Siliziumsubstrat eingebracht wird und integrierte Schaltkreise auf der oberen dünnen Siliziumschicht hergestellt werden. Diese Technologie zur Ve......
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