Um die hohen Qualitätsanforderungen von IC-Chip-Schaltkreisprozessen mit Linienbreiten von weniger als 0,13 μm bis 28 nm für Siliziumpolierwafer mit 300 mm Durchmesser zu erfüllen, ist es wichtig, die Kontamination durch Verunreinigungen, wie z. B. Metallionen, auf der Waferoberfläche zu minimieren.
WeiterlesenWährend die Welt nach neuen Möglichkeiten im Halbleiterbereich sucht, ist Galliumnitrid (GaN) weiterhin ein potenzieller Kandidat für zukünftige Energie- und HF-Anwendungen. Trotz seiner zahlreichen Vorteile steht GaN jedoch vor einer großen Herausforderung: dem Fehlen von P-Typ-Produkten. Warum wi......
WeiterlesenDas Polieren der Oberfläche von Siliziumwafern ist ein entscheidender Prozess in der Halbleiterfertigung. Sein Hauptziel besteht darin, durch die Entfernung von Mikrodefekten, Schichten von Spannungsschäden und Verunreinigungen durch Verunreinigungen wie Metallionen extrem hohe Standards an Oberfläc......
WeiterlesenDie grundlegende Kristallelementarzelle von monokristallinem Silizium ist die Zinkblendestruktur, in der jedes Siliziumatom chemisch mit vier benachbarten Siliziumatomen verbunden ist. Diese Struktur findet sich auch in monokristallinen Kohlenstoffdiamanten.
Weiterlesen