Was ist Niedertemperatur-Plasmaätzen?

Plasma ist der vierte Aggregatzustand und spielt sowohl bei industriellen Anwendungen als auch bei Naturphänomenen eine entscheidende Rolle. Beispielsweise ist Plasma in Blitzen vorhanden und wird reichlich auf der Sonnenoberfläche erzeugt, wo die Kerntemperatur erstaunliche 13.500 °C erreicht. Dieses Hochtemperaturplasma ist für die meisten industriellen Produktionsprozesse nicht geeignet.

Andererseits ist Niedertemperaturplasma eine künstlich erzeugte Form von Plasma, die Energie anstelle von Wärme nutzt, um chemische Reaktionen zu beschleunigen. Seine Temperatur reicht typischerweise von Raumtemperatur bis zu mehreren hundert Grad Celsius, was es für verschiedene Anwendungen äußerst effektiv macht.

Schritte zur Erzeugung künstlichen Plasmas:

1. Reduzieren Sie den Druck in der Kammer: Beginnen Sie mit der Verwendung einer Vakuumpumpe, um den Druck in der Kavität zu senken. Das Erreichen eines niedrigen Drucks ist für die Stabilisierung des Plasmas und die Erleichterung der Gasionisierung von entscheidender Bedeutung.

2. Prozessgas einleiten: Spezifische Prozessgase in den Hohlraum injizieren. Diese Gase dienen als Hauptquelle für Partikel im Plasma.

3. Erregen Sie das Plasma: Wenden Sie Strom an, um das Gas zu ionisieren und so effektiv Plasma zu bilden.

4. Deaktivieren Sie das Plasma und stellen Sie den atmosphärischen Druck wieder her: Sobald die gewünschten Reaktionen abgeschlossen sind, schalten Sie das Plasma aus und stellen Sie die Kammer wieder auf atmosphärischen Druck ein.

Anwendungen von Niedertemperaturplasma in der Halbleiterfertigung:

Niedertemperaturplasma ist in der Halbleiterfertigung unverzichtbar und erfüllt wichtige Funktionen beim Trockenätzen, der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), der Atomlagenabscheidung (ALD), der Ionenimplantation, der Veraschung und der Endpunkterkennung. Seine Vielseitigkeit und Effizienz machen es zu einem grundlegenden Werkzeug in der Branche.

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