MOCVD-Planetensuszeptor für Halbleiter

Semicorex ist ein vertrauenswürdiger Name in der Halbleiterindustrie und bietet hochwertige MOCVD-Planetensuszeptoren für Halbleiter an. Unser Produkt wurde entwickelt, um die spezifischen Anforderungen von Halbleiterherstellern zu erfüllen, die einen Träger suchen, der hervorragende Leistung, Stabilität und Haltbarkeit bietet. Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unser Produkt zu erfahren und wie wir Sie bei Ihren Halbleiterfertigungsanforderungen unterstützen können.

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Produktbeschreibung

Unser MOCVD-Planetensuszeptor für Halbleiter zeichnet sich durch Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen aus und gewährleistet seine Stabilität bei hohen Temperaturen von bis zu 1600 °C. Es ist außerdem hochrein und wird durch CVD-chemische Gasphasenabscheidung unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen hergestellt, wodurch die Gleichmäßigkeit und Konsistenz des Produkts, ein gleichmäßiges thermisches Profil und ein laminares Gasströmungsmuster gewährleistet werden.
Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unseren MOCVD Planet Susceptor für Halbleiter zu erfahren.

Parameter des MOCVD Planet Susceptor für Halbleiter

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC-β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickershärte	2500
Körnung	μm	2~10
Chemische Reinheit	%	99.99995
Wärmekapazität	J kg-1 K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Biegekraft	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4-Punkt-Biegung, 1300 ℃)	430
Wärmeausdehnung (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Merkmale des SiC-beschichteten Graphitsuszeptors für MOCVD

- Vermeiden Sie ein Abblättern und stellen Sie sicher, dass die Beschichtung auf der gesamten Oberfläche vorhanden ist
Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen: Stabil bei hohen Temperaturen bis zu 1600 °C
Hohe Reinheit: hergestellt durch CVD-chemische Gasphasenabscheidung unter Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen.
Korrosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche und feine Partikel.
Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.
- Erzielen Sie das beste laminare Gasströmungsmuster
- Gewährleistung der Gleichmäßigkeit des thermischen Profils
- Verhindern Sie jegliche Kontamination oder Diffusion von Verunreinigungen