CVD-SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor

Semicorex CVD SiC Coated Graphite Susceptor ist ein Spezialwerkzeug für die Handhabung und Verarbeitung von Halbleiterwafern. Der Suszeptor spielt eine entscheidende Rolle bei der Erleichterung des Wachstums dünner Filme, Epitaxieschichten und anderer Beschichtungen auf Substraten mit präziser Kontrolle der Temperatur und Materialeigenschaften. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der CVD-SiC-beschichtete Graphitsuszeptor ist eine sorgfältig konstruierte Komponente, die eine optimale thermische Umgebung für die kontrollierte Abscheidung dünner Filme und Beschichtungen auf Halbleiterwafern oder anderen Substratmaterialien schaffen soll. Es ist ein entscheidendes Element in einem CVD-Reaktor und dient sowohl als Wärmequelle als auch als Plattform zum Halten und Positionieren der Substrate während des Abscheidungsprozesses.

Vorteile:

Präzise Abscheidung: Der CVD-SiC-beschichtete Graphitsuszeptor ermöglicht die kontrollierte und präzise Abscheidung dünner Filme und Beschichtungen, was zu hochwertigen und reproduzierbaren Ergebnissen führt.

Reduzierte Kontamination: Die SiC-Beschichtung minimiert das Risiko einer Kontamination durch den Suszeptor selbst und gewährleistet so die Reinheit der abgeschiedenen Materialien.

Langlebigkeit und Haltbarkeit: Die SiC-Beschichtung erhöht die Beständigkeit des Suszeptors gegenüber Oxidation und chemischen Reaktionen und trägt so zu seiner Langlebigkeit und Zuverlässigkeit bei längerem Gebrauch bei.