Aluminiumoxid -Keramik -End -Effektor

Semicorex Alumina Ceramic End Effector ist ein wesentliches Werkzeug in automatisierten Waferübertragungssystemen und bietet unübertroffene mechanische Festigkeit, thermische Stabilität und chemische Resistenz. Mit hoher Purity hergestelltAlumina (Al₂o₃) KeramikDieser End -Effektor ist so konstruiert, dass er die strengen Anforderungen von Waferverarbeitungsumgebungen entspricht, in denen Präzision, Sauberkeit und Haltbarkeit von größter Bedeutung sind.

Halbleiter -Roboterarme sind einer der wichtigsten Teile der Halbleiterausrüstung. Sie bestehen normalerweise aus Controllern, Treibern, Armen und Endeffektoren. Sie sind durch hohe Sauberkeit, hohe Stabilität, hohe Präzision, hohe Effizienz und hohe Zuverlässigkeit gekennzeichnet. Halbleiterroboter werden hauptsächlich im Front-End-Prozess der Semiconductor-Herstellung verwendet, um Halbleiter-Wafer zu transportieren, zu transportieren und zu positionieren.

Die Keramikstruktur mit einem Aluminiumoxidgehalt von mehr als 99,5% bietet überlegene Härte und Verschleißfestigkeit für wiederholte Bewegungen in Umgebungen mit hoher Präzision ohne Zeit. Die hohe thermische Leitfähigkeit und niedrige thermische Expansion von Aluminiumoxid ermöglichen eine dimensionale Stabilität in Umgebungen mit erhöhter Temperatur, eine Notwendigkeit in den meisten Reinraumbetrieb in Halbleitern, wie beispielsweise in einem Radierer, Einlagen, Inspektion oder Reinigungswerkzeug.

DerAluminiumoxidkeramikDer End -Effektor hat eine bemerkenswerte charakteristische Oberflächenfinish, die glatt ist und eine geringe Porosität aufweist, wodurch es nahe Null -Partikel erzeugt wird und minimiert oder null Auswirkung auf Verunreinigungen während des Waferhandlings ist. Darüber hinaus ist Aluminiumoxid chemisch inert. Dies bedeutet, dass es nicht mit einer der Prozessgase und Prozessflüssigkeiten reagiert, mit denen der Wafer in Kontakt steht. Dies schützt den Wafer und jede Kontamination vor sich selbst und Geräten vor allem, was Korrosion verursachen kann.

Sie werden im Allgemeinen als Endeffektoren oder als Klemmmechanismus für Roboterarme oder Transfermodule in Waferherstellungsgeräten und -geräten wie ein Radierer- oder Einlagenwerkzeug, Inspektion oder Reinigungswerkzeug mit präzisen Schläfen, Grooves oder Vakuumkanälen, die die tatsächliche Wafergröße erfassen, unabhängig davon, ob es sich um 100 mm, 200 mm oder 300 mm handelt, und übertragen, und übertragen von Waffeln und Übertragung von Wafern und Übertragung von Wafern und Übertragung von Wafern und Übertragung von Wafern und Übertragung von Wafern und Übertragung von Wafern und Übertragung von Wafern, verwendet. Die Endeffektoren verarbeiten in der Regel Waferübertragungsgeschwindigkeiten bei 25 cm/Sekunde.

Anpassungsoptionen bestehen entlang der für bestimmten Geräteschnittstellen oder Wafergrößen ausgelegten Zeilen. Die strukturelle Starrheit von Aluminiumoxid ermöglicht dünne und leichte Profile, die die Gesamtmasse des Handhabungssystems minimieren und zu schnelleren Reaktionszeiten führen. Einige Konfigurationen können auch antistatische oder isolierende Komponenten hinzufügen, um den empfindlichen elektronischen Substraten zusätzlichen Schutz zu bieten.

Insgesamt bietet der Effektor des Alumina Ceramic Ends eine wirksame Lösung, die eine verbesserte Ausbeute und eine verringerte Kontamination fördert, wobei die betriebliche Zuverlässigkeit Schlüsselelemente für die Waferverarbeitungslinie sind. Mit seinen Merkmalen der Haltbarkeit und der körperlichen Leistung unterscheidet sich der effektive und kostengünstige Aluminiumoxid-Keramik-End-Effektor als beliebte Wahl unter den Herstellern und Fabriken der Halbleitergeräte, die strenge Produktionsstandards in einer ultra-verarbeiteten Umgebung erfordern.