Aluminiumoxid-Spannfutter

Das Semicorex Alumina Chuck gilt als Eckpfeiler der Halbleiterverarbeitung und wird sorgfältig aus Aluminiumoxidkeramik gefertigt. Dieses Spezialmaterial gibt es in zwei verschiedenen Varianten: hochreine und gewöhnliche Typen, die jeweils ihre eigenen Anwendungsbereiche und Eigenschaften haben.

Hochreine Aluminiumoxidkeramik mit einem Al2O3-Gehalt von 99,9 % oder mehr steht für herausragende Reinheit und Widerstandsfähigkeit. Diese Keramiken werden bei Sintertemperaturen im Bereich von 1650 bis 1990 °C geformt und verfügen über außergewöhnliche Lichtdurchlässigkeitseigenschaften im Wellenlängenbereich von 1 bis 6 μm. Ihre Vielseitigkeit erstreckt sich über verschiedene Branchen, vom Ersatz von Platintiegeln in Anwendungen für geschmolzenes Glas bis hin zum Widerstand gegen die korrosiven Kräfte von Alkalien und Metallen, wie z. B. Natriumlampen. Im Bereich der Elektronik finden sie Verwendung als Substrate für integrierte Schaltkreise und als Hochfrequenz-Isolationsmaterialien.

Andererseits umfassen gewöhnliche Aluminiumoxidkeramiken ein Spektrum an Zusammensetzungen, einschließlich 99 %, 95 %, 90 % und mehr, abgegrenzt durch ihren jeweiligen Al2O3-Gehalt. Diese Keramiken decken eine Vielzahl von Anforderungen ab, wobei 99 Aluminiumoxid in Hochtemperaturtiegeln, feuerfesten Ofenrohren und verschleißfesten Komponenten wie Keramiklagern und Dichtungen zum Einsatz kommt. Unterdessen zeichnet sich die 95-Aluminiumoxid-Variante durch Korrosionsbeständigkeit und Verschleißfestigkeit aus. Einige mit Talk angereicherte Formulierungen weisen verbesserte elektrische Eigenschaften und mechanische Festigkeit auf, was ihre Integration in elektrische Vakuumgeräte und andere Spezialanwendungen erleichtert, bei denen eine Versiegelung mit Metallen wie Molybdän, Niob und Tantal zwingend erforderlich ist.

Das Alumina Chuck, das die Robustheit und Vielseitigkeit von Aluminiumoxidkeramik verkörpert, entwickelt sich zu einem unverzichtbaren Bestandteil in der Halbleiterfertigung. Dank seiner Präzisionstechnik und Widerstandsfähigkeit gegenüber extremen Bedingungen ist das Alumina Chuck unverzichtbar für die Sicherung empfindlicher Halbleiterwafer in kritischen Verarbeitungsphasen und stellt die Integrität und Qualität der Endprodukte sicher.