Roboterarm aus Aluminiumoxidkeramik

Der Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarm von Semicorex ist in verschiedenen Bereichen der Halbleiterindustrie weit verbreitet, einschließlich der Handhabung von Siliziumwafern, der Verarbeitung empfindlicher elektronischer Komponenten und des Betriebs in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen. Der Roboterarm zur Handhabung von Aluminiumoxid-Keramikwafern ist vielseitig und unverzichtbar Werkzeug zur Gewährleistung effizienter und präziser Handhabungsaufgaben in Halbleiterfertigungsanlagen.

Der Aluminiumoxidkeramik-Roboterarm bietet eine außergewöhnliche Hitzebeständigkeit von bis zu 1650 °C, die einen zuverlässigen Betrieb in Umgebungen mit hohen Temperaturen gewährleistet und ihn ideal für Prozesse macht, die erhöhte Temperaturen erfordern, wie Sintern und Glühen, bei denen thermische Stabilität von größter Bedeutung ist.

Andererseits verlängert seine Verschleißfestigkeit nicht nur die Lebensdauer des Aluminiumoxidkeramik-Roboterarms, sondern sorgt auch in anspruchsvollen und abrasiven Handhabungsumgebungen für eine gleichbleibende Leistung und reduziert so den Wartungsaufwand und die Ausfallzeiten in Halbleiterfertigungsanlagen. Darüber hinaus eignet sich der Aluminiumoxidkeramik-Roboterarm aufgrund seiner außergewöhnlichen Beständigkeit gegen chemische Korrosion für Anwendungen, bei denen der Kontakt mit korrosiven Substanzen unvermeidbar ist, und bietet eine dauerhafte Haltbarkeit und Zuverlässigkeit in rauen chemischen Umgebungen, die häufig in der Halbleiterverarbeitung vorkommen.

Darüber hinaus verhindern die nichtleitenden Eigenschaften des Aluminiumoxidkeramik-Roboterarms statische Störungen beim Umgang mit empfindlichen elektronischen Komponenten und schützen vor elektrostatischer Entladung (ESD), die möglicherweise empfindliche Halbleiterbauteile beschädigen könnte, und stellen die Integrität und Funktionalität elektronischer Schaltkreise während der Handhabung sicher.

Und zusammen mit dem optimierten geometrischen Design mit mehreren Befestigungslöchern und zwei verlängerten Griffen erleichtert es nicht nur die einfache Installation und Integration mit anderen Maschinen, sondern erhöht auch die Präzision und Genauigkeit bei Wafer-Handhabungsaufgaben und ermöglicht so einen reibungslosen Betrieb in Halbleiterfertigungsprozessen, die ein hohes Maß an Qualität erfordern Kontrolle und Wiederholbarkeit.

Nicht zuletzt minimiert die glatte Oberflächenbehandlung die Reibung des Aluminiumoxidkeramik-Roboterarms, was die Gesamteffizienz und Zuverlässigkeit des Handhabungsprozesses steigert, eine gleichmäßigere Bewegung fördert und das Risiko einer Beschädigung empfindlicher Komponenten während des Transfers verringert, was zu einer verbesserten Ausbeute und Qualität beiträgt in der Halbleiterproduktion.