8-Zoll-Waferhalterringe

Semicorex 8-Zoll-Waferhalterringe sind hochmoderne Hardware für Halbleiterverarbeitung, die Siliziumwafer durch wichtige Thermo-, Ätz- und Abscheidungsprozesse sicher sichern und unterstützen sollen. Aus hochwertigem Graphit mit einer dichten gebautSchicht von Siliziumkarbid (sic)Für die zusätzliche Festigkeit liefert der Waferhalterring überlegene thermische Stabilität, chemische Resistenz und mechanische Festigkeit, wobei sie ideal für die Verwendung in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen wie CVD (chemische Dampfablagerung), PECVD und Epitaxiensysteme ist.

Schlüsselmerkmale:

Materialzusammensetzung:

Das Substratmaterial istHigh-Purity-Graphit, die für eine hohe thermische Leitfähigkeit und strukturelle Homogenität ausgewählt wird. Hohe Dichte und gleichmäßigFilmbeschichtung Siliziumcarbid (SIC)wird auf die Oberfläche aufgetragen, wobei eine hohe Resistenz gegen Oxidation und chemische Angriffe selbst bei erhöhten Temperaturen von mehr als 1000 ° C aufweist. Die Mischung enthält eine Haltbarkeit langer Dauer und ein minimales Risiko einer Kontamination der Wafer.

Sicherung der Waferpositionierung

Der Waferholder-Ring wurde besonders für 200 mm Wafer ausgestattet und enthält präzise Toleranzen und eine optimal gestaltete innere Geometrie, um den Wafer sicher zu erfassen. Der Ring bleibt während des thermischen Radfahrens und des Gasstroms stabil, wobei die Mikrobewegung minimiert wird, die zur Erstellung von Partikeln oder zum Waferbruch führen kann.

Wärme Gleichmäßigkeit:

Die inhärente thermische Leitfähigkeit des Graphit -Substrats und die Stabilität der SIC -Beschichtung sorgen für eine konsistente Wärmeübertragung über die Waferoberfläche. Dies führt zu konsistenten Prozessergebnissen, verringerten thermischen Spannung und besserer Geräteertrag.

Chemische und Plasmaresistenz:

Die sic -Oberfläche schützt den Graphitkern vor rauen Prozessplasmen und Gasen und bietet einen Widerstand gegen wiederholte Prozesszyklen. Die chemische Inertheit ist besonders vorteilhaft in korrosiven halogenhaltigen Schnitzen- oder reaktiven Gasumgebungen.

Anpassung verfügbar:

8-Zoll-Waferhalterringe können individuell gestaltet werden, um bestimmte Geräte- oder Prozessanforderungen zu erfüllen, d. H. Variationen des Edge-Support-Designs, der Position von Slots und der Montagekonfiguration. Unsere Designer arbeiten mit OEMs und Fabs zusammen, um für jede Verwendung die höchstmögliche Leistung zu erzielen.

Anwendungen:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Epitaxiale Wachstumsprozesse
• Diffusionsöfen
• Hochtemperaturgezündet
• Andere Halbleiter -Wärmeverarbeitungssysteme

Alle 8-Zoll-Waferhalterringe unterliegen strengen Inspektionen wie der Verifizierung der Dimensiongenauigkeit, dem Beschichtungsadhäsionstest und der Qualifikation mit thermischer Radfahrung. Unsere fortschrittliche Fertigungstechnologie sorgt für eine einheitliche SIC -Beschichtungsdicke und das beste Oberflächenfinish, um die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen.

Semicorex 8-Zoll-Waferholderringe (SIC-beschichtete Graphit) sind ein wesentliches Gerät für die Halbleiterproduktion der nächsten Generation und bieten mechanische Präzision, Materialdauer und chemische Stabilität. Dieses Produkt bietet die Zuverlässigkeit und Leistung, die die anspruchsvollen Produktionsumgebungen ermöglichen, von Prozessausrüstungs-Upgrades bis zum Bau von Waferplattformen der nächsten Generation.