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Mit Tantalkarbid beschichtete Graphitteile

Mit Tantalkarbid beschichtete Graphitteile

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Produktbeschreibung

Mit Tantalkarbid beschichtete Graphitteile spielen eine entscheidende Rolle in Halbleiterfertigungsprozessen, bei denen Präzision, Zuverlässigkeit und Widerstandsfähigkeit gegenüber rauen Bedingungen von größter Bedeutung sind. Diese speziell behandelten Komponenten, darunter Ätzringe und Tiegel, sind darauf ausgelegt, den anspruchsvollen Umgebungen bei der Halbleiterfertigung standzuhalten.

Mit Tantalkarbid beschichtete Graphitteile wie Ätzringe sind wichtige Komponenten, die in der Halbleiterindustrie für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) verwendet werden. Diese Ringe kommen während des Ätzprozesses in direkten Kontakt mit reaktiven Gasen und Hochtemperaturumgebungen.

Mit Tantalkarbid beschichtete Graphitteile sind mit einer dünnen Schicht Tantalkarbid beschichtet. Diese Beschichtung bietet außergewöhnliche Verschleißfestigkeit und Schutz vor korrosiven Chemikalien und sorgt so für Langlebigkeit und gleichbleibende Leistung.

Die Tantalcarbid-Beschichtung erhöht die Härte und chemische Stabilität der Ätzringe und verhindert so Zersetzung und Kontamination. Es trägt außerdem zu gleichmäßigen Ätzergebnissen und einer längeren Betriebslebensdauer bei.



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