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TaC-beschichteter Tiegel
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TaC-beschichteter Tiegel

Wir stellen den mit CVD Tac beschichteten Tiegel vor, die perfekte Lösung für Hersteller und Anwender von Halbleitergeräten, die ein Höchstmaß an Qualität und Leistung verlangen. Unsere Tiegel sind mit einer hochmodernen CVD-Tac-Schicht (Tantalkarbid) beschichtet, die eine hervorragende Korrosions- und Verschleißbeständigkeit bietet und sie ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen macht.

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Produktbeschreibung

Unsere Tiegel sind aus hochwertigen Materialien gefertigt und mit der fortschrittlichsten CVD-Tac-Technologie beschichtet und bieten außergewöhnliche Leistung und Langlebigkeit. Die CVD-Tac-Beschichtung sorgt für eine äußerst gleichmäßige, dichte Schicht, die äußerst beständig gegen chemische Angriffe, Abrieb und Thermoschock ist. Dadurch wird sichergestellt, dass unsere Tiegel auch nach mehrmaligem Gebrauch ihre Form und Abmessungen behalten, wodurch die Notwendigkeit eines häufigen Austauschs verringert wird.

Unsere mit CVD Tac beschichteten Tiegel sind außerdem hervorragend mit einer Vielzahl von Halbleiterprozessen kompatibel, darunter chemische Gasphasenabscheidung (CVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und Atomlagenabscheidung (ALD). Ob Sie Mikrochips, Solarzellen oder andere Halbleiterbauelemente herstellen, unsere Tiegel können Ihnen dabei helfen, optimale Ergebnisse zu erzielen.


Parameter der TaC-Beschichtung

Projekte

Parameter

Dichte

14,3 (g/cm³)

Emissionsgrad

0.3

WAK (×10-6/K)

6.3

Härte (HK)

2000

Widerstand (Ohm-cm)

1×10-5

Thermische Stabilität

<2500â

Änderung der Graphitdimension

-10~-20um (Referenzwert)

Beschichtungsdicke

â¥20um typischer Wert (35um±10um)



Die oben genannten Werte sind typische Werte



Zu den Merkmalen und Vorteilen unserer CVD-Tac-beschichteten Tiegel gehören:

Hochreine Materialien für weniger Kontamination und höhere Ausbeute

Hervorragende Wärmeleitfähigkeit für gleichmäßiges Heizen und Kühlen

Außergewöhnliche Thermoschockbeständigkeit für längere Haltbarkeit

Große Auswahl an Größen und Formen verfügbar, um Ihren spezifischen Anforderungen gerecht zu werden

Anpassungsoptionen auf Anfrage verfügbar


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