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TaC-beschichtete Komponenten im epitaktischen Wachstum
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TaC-beschichtete Komponenten im epitaktischen Wachstum

Semicorex TaC-beschichtete Komponenten im epitaktischen Wachstum sind wertvolle maschinell bearbeitete Teile, die sich im Lufteinlass im Epitaxieprozess in Halbleitern befinden. Semicorex ist ein erstklassiges Unternehmen, das sich auf CVD-TaC-Beschichtungstechnologie in China spezialisiert hat und Produkte weltweit exportiert.*

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Produktbeschreibung

Semicorex TaC-beschichtete Komponenten beim epitaktischen Wachstum sind ein rechteckiges rohrförmiges Teil, das hauptsächlich für den Lufteinlassfortschritt im CVD-Ofen verantwortlich ist. Daher ist es ein wesentlicher Bestandteil, und in einer strengen Umgebung ist die Temperatur hoch und es entstehen korrosive Gase. Dies verdeutlicht den Grund, warum wir uns für TaC-beschichtetes Graphit entschieden haben.


Die Vorteile vonTantalcarbid (TaC)-Beschichtung

Für einige der kritischsten Teile der Luftansaugsysteme, die für den Einsatz unter rauen Bedingungen konzipiert sind, wie sie in einem CVD-Ofen (Chemical Vapour Deposition) herrschen, sind Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen erforderlich. Die hohen Temperaturen und die Einwirkung korrosiver Gase in einem CVD-Ofen schaffen eine sehr anspruchsvolle Arbeitsumgebung. Durch die Verwendung von TaC-Beschichtungen auf Lufteinlass-TaC-beschichteten Komponenten beim epitaktischen Wachstum wird das Potenzial für die Bildung fehlerhafter Partikel erheblich verringert, wodurch die Lebensdauer der Komponente verlängert wird und die höchste Ausbeute und Qualität an gesammelten Epithelfilmen erzielt wird.



Exzellente Beschichtungstechnologie

Semicorex nutzt zur Herstellung fortschrittliche CVD-TechnologieTaC-beschichtete Bauteile im epitaktischen Wachstumum die heutigen anspruchsvollsten Industriestandards für Leistung und Qualität zu erfüllen. Die Präzision, mit der Semicorex TaC-Beschichtungen herstellt, zeigt sich in der hohen Qualität der hergestellten Beschichtungen.


Besonderheit
Semicorex-Vorteil
Auswirkungen auf den Kunden
Ausgezeichnete Haftung
Durch den optimierten Abscheidungsprozess entsteht eine starke, gleichmäßige chemische Bindung zwischen der TaC-Schicht und dem Graphitsubstrat.
Keine Delamination oder Ablösung bei Temperaturwechsel, wodurch langfristige Zuverlässigkeit gewährleistet ist.
Oberflächengleichmäßigkeit
Präzise Kontrolle der Schichtdicke und Homogenität auf allen Innen- und Außenflächen des Rechteckrohrs.
Gleichbleibende Strömungsdynamik und thermische Leistung, entscheidend für eine wiederholbare Luftansaugung.
Hohe Reinheit der Beschichtung
Wir verwenden hochreine Vorläufer und einen sorgfältigen Prozess, um eine außergewöhnlich saubere TaC-Schicht zu erzielen.
Minimierte Spurenmetall- und Verunreinigungen, die die Qualität des gewachsenen Epitaxiefilms beeinträchtigen können.

Optimierte Substratauswahl

Unsere strengen Beschaffungs- und Qualitätskontrollprozesse stellen sicher, dass jede Charge des von uns verwendeten Graphitsubstrats die gleichen Materialeigenschaften aufweist. Dadurch ist es uns möglich, stets ein TaC-beschichtetes Rechteckrohr mit den gleichen Leistungsmerkmalen herzustellen.


Wir wählen eine Graphitsorte basierend auf ihren physikalischen Eigenschaften aus, um die stärkste Verbindung zwischen der TaC-Beschichtung und dem Graphitsubstrat zu erreichen. Dadurch wird eine maximale Haftung der TaC-Beschichtung auf dem Graphitsubstrat gewährleistet.


Der zur Herstellung unserer TaC-beschichteten Rechteckrohre verwendete Graphit muss von extrem hoher Reinheit sein, um die Möglichkeit von Ausgasungen und Verunreinigungen während unseres Hochtemperatur-CVD-Prozesses zu minimieren.


Unsere strengen Beschaffungs- und Qualitätskontrollprozesse stellen sicher, dass jede Charge des von uns verwendeten Graphitsubstrats die gleichen Materialeigenschaften aufweist. Dadurch ist es uns möglich, stets ein TaC-beschichtetes Rechteckrohr mit den gleichen Leistungsmerkmalen herzustellen.


Bewährte Zuverlässigkeit und Partnerschaft

Unsere TaC-beschichteten Komponenten im epitaktischen Wachstum wurden von vielen der größten und angesehensten Hersteller der Halbleiterindustrie umfassend getestet und zugelassen. Diese Hersteller haben Semicorex-Produkte als zuverlässige Standards für den Einsatz in den kritischen Anwendungen des epitaktischen Wachstums etabliert.


Wir sind uns bewusst, dass die Lieferung von Komponenten ein wesentlicher Bestandteil Ihres Produktionsprozesses ist. Aus diesem Grund hat sich Semicorex dazu verpflichtet, ein langfristiger Partner zu sein, indem es eine qualitativ hochwertige und zuverlässige Produktlieferung liefert und sich durch die Bereitstellung von Logistik und After-Sales-Unterstützung auszeichnet, um einen reibungslosen und unterbrechungsfreien Geschäftsablauf zu gewährleisten.



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