Gebogene Siliziumelektroden

Bei der modernen Ätzausrüstung wird die gekrümmte Siliziumelektrode normalerweise oben in der Ätzkammer montiert und zeigt in Richtung des Halbleiterwafers. Die gekrümmte Siliziumelektrode arbeitet typischerweise mit der elektrostatischen Halterung, dem Si-Fokusring, dem Si-Kantenring, dem Si-Absaugring und dem Si-Abschirmring zusammen, um optimale Betriebsbedingungen für hochpräzises Ätzen zu schaffen.

Funktionen der gebogenen Semicorex-Siliziumelektroden

1. Kompatibel mit der Ätzung komplexer 3D-Strukturen

Mit außergewöhnlicher 3D-Steuerungsfähigkeit für elektrische Felder bietet Semicorexgebogene Siliziumelektrodenkann die geometrischen Eigenschaften komplexer Strukturen perfekt anpassen. Das spezielle gekrümmte Design ermöglicht eine präzise Plasmasteuerung und eine optimierte Energieverteilung, was sich erheblich auf das Seitenverhältnis und die Seitenwandvertikalität beim Ätzen von 3D-Strukturen auswirkt und die Produktionslinienanforderungen fortschrittlicher Verpackungsprozesse und 3D-IC-Integration vollständig erfüllt.

2. Präzise Steuerung der Ätzgasverteilung

Die gebogenen Semicorex-Siliziumelektroden verfügen über mehrere gleichmäßig verteilte Mikrolöcher auf ihrer Oberfläche, durch die Ätzgas in die Ätzkammer gelangen kann. Gebogene Semicorex-Siliziumelektroden ermöglichen eine präzise Kontrolle des Ätzgases und ermöglichen dessen gleichmäßige Verteilung in der Ätzkammer, wodurch Prozessschwankungen durch ungleichmäßige Gasverteilung minimiert werden.

Vorteile der gebogenen Semicorex-Siliziumelektroden

1. Ultrahohe Reinheit

Die gebogenen Siliziumelektroden von Semicorex bestehen aus hochreinem EinkristallSiliziummit einem Reinheitsgrad über 99,9999999 % und bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen Plasmaerosion. Diese hochwertige Materialauswahl kann unerwünschte Verunreinigungen durch Ätznebenprodukte wirksam vermeiden und gleichzeitig die Lebensdauer gebogener Siliziumelektroden erheblich verlängern.

2. Hervorragende elektrische Eigenschaften

Die aus MCZ-gewachsenem einkristallinem Silizium hergestellten gebogenen Semicorex-Siliziumelektroden weisen eine hervorragende Gleichmäßigkeit des spezifischen Widerstands auf: <5 % und einen breiten wählbaren Widerstandsbereich: niedrige Auflösung. (<0,02), mittlere Auflösung. (1–4) und hochauflösend. (70–90).

3. Präzise Verarbeitungsgenauigkeit

Durch hochpräzise mechanische Bearbeitung erreichen die gebogenen Semicorex-Siliziumelektroden eine gleichmäßige Porengröße und eine gleichmäßige Lochverteilung. Ihre Oberflächen sind fein poliert und geschliffen: poliert (Ra < 0,1 μm) und geschliffen (Ra < 1,6 μm), wobei die Gesamtbearbeitungsgenauigkeit innerhalb von 0,03 mm liegt.