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SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD

SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD

Die Semicorex-SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD bietet eine hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit und ist damit die perfekte Lösung für Halbleiterwafer-Verarbeitungsanwendungen. Mit einem hochwertigen SiC-beschichteten Graphit ist dieses Produkt so konstruiert, dass es den rauesten Abscheidungsumgebungen für epitaktisches Wachstum standhält. Die hohe Wärmeleitfähigkeit und die hervorragenden Wärmeverteilungseigenschaften gewährleisten eine zuverlässige Leistung für RTA-, RTP- oder aggressive chemische Reinigung.

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Produktbeschreibung

Unsere SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD für MOCVD-Epitaxiewachstum ist die perfekte Lösung für die Waferhandhabung und die Epitaxiewachstumsverarbeitung. Mit einer glatten Oberfläche und einer hohen Beständigkeit gegen chemische Reinigung gewährleistet dieses Produkt eine zuverlässige Leistung in rauen Abscheidungsumgebungen.
Das Material unserer SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD wurde entwickelt, um Risse und Delaminierung zu verhindern, während die überlegene Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit eine konstante Leistung für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung gewährleisten.
Kontaktieren Sie uns noch heute, um mehr über unsere SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD zu erfahren.


Parameter der SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD

Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung

SiC-CVD-Eigenschaften

Kristallstruktur

FCC β-Phase

Dichte

g/cm³

3.21

Härte

Vickers-Härte

2500

Körnung

μm

2~10

Chemische Reinheit

%

99.99995

Wärmekapazität

J·kg –1 ·K –1

640

Sublimationstemperatur

2700

Biegefestigkeit

MPa (RT 4-Punkt)

415

Elastizitätsmodul

Gpa (4pt Biegung, 1300â)

430

Wärmeausdehnung (CTE)

10-6K-1

4.5

Wärmeleitfähigkeit

(W/mK)

300


Merkmale der SiC-Graphit-RTP-Trägerplatte für MOCVD

Hochreiner SiC-beschichteter Graphit
Hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit
Feine SiC-Kristallbeschichtung für eine glatte Oberfläche
Hohe Beständigkeit gegen chemische Reinigung
Das Material ist so konzipiert, dass keine Risse und Delaminationen auftreten.





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