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Pancake-Suszeptor mit SiC-Beschichtung
  • Pancake-Suszeptor mit SiC-BeschichtungPancake-Suszeptor mit SiC-Beschichtung

Pancake-Suszeptor mit SiC-Beschichtung

Der Semicorex SiC Coating Pancake Susceptor ist eine Hochleistungskomponente, die für den Einsatz in MOCVD-Systemen entwickelt wurde und eine optimale Wärmeverteilung und verbesserte Haltbarkeit während des epitaktischen Schichtwachstums gewährleistet. Wählen Sie Semicorex aufgrund seiner präzisionsgefertigten Produkte, die überragende Qualität, Zuverlässigkeit und längere Lebensdauer bieten und auf die besonderen Anforderungen der Halbleiterfertigung zugeschnitten sind.*

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Produktbeschreibung

SemicorexSiC-BeschichtungPancake Susceptor ist ein Teil der nächsten Generation, das für den Einbau in MOCVD-Systeme zur Metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung vorgesehen ist. Diese Systeme bilden einen wichtigen Teil des Mechanismus, durch den Epitaxieschichten auf einer Vielzahl von Substraten abgeschieden werden. Der hier gezeigte Spezialsuszeptor ist ausschließlich für Halbleiteranwendungen bestimmt, hauptsächlich für die Herstellung von LEDs, Hochleistungsgeräten und HF-Geräten. Die in diesen Anwendungen verwendeten Substrate benötigen häufig eine Epitaxieschicht, die auf Materialien wie Saphir oder leitfähigem und halbisolierendem SiC gebildet werden kann. Dieser Pancake-Suszeptor mit SiC-Beschichtung bietet eine hervorragende Leistung in MOCVD-Reaktoren mit effizienten, zuverlässigen und präzisen Abscheidungen.


Es ist in der Halbleiterindustrie für seine hervorragenden Materialeigenschaften, seine solide Konstruktion und die Möglichkeit zur Anpassung an bestimmte MOCVD-Prozesse bekannt. Da die Nachfrage nach hochwertigen Epitaxieschichten in Leistungs- und HF-Anwendungen steigt, garantiert Ihnen die Wahl von Semicorex ein Spitzenprodukt, das optimale Leistung und eine lange Lebensdauer bietet. Dieser Suszeptor ist eine Basis für Halbleiterwafer und wird beim Abscheiden epitaktischer Schichten auf Halbleitern eingesetzt. Die Schichten können für die Herstellung von Geräten verwendet werden, zu denen LEDs, HEMTs und Leistungshalbleitergeräte wie SBDs und MOSFETs gehören. Solche Geräte sind für moderne Kommunikations-, Hochleistungselektronik- und optoelektronische Anwendungen von entscheidender Bedeutung.


Funktionen und Vorteile


1. Hohe Wärmeleitfähigkeit und gleichmäßige Wärmeverteilung

Eines der Hauptmerkmale des SiC-beschichteten Pancake-Suszeptors ist seine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit. Das Material sorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung während des MOCVD-Prozesses, was für das gleichmäßige Wachstum epitaktischer Schichten auf Halbleiterwafern entscheidend ist. Die hohe Wärmeleitfähigkeit gewährleistet eine gleichmäßige Erwärmung des Wafersubstrats, minimiert Temperaturgradienten und verbessert die Qualität der abgeschiedenen Schichten. Dies führt zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit, besseren Materialeigenschaften und einer insgesamt höheren Ausbeute.

2. SiC-Beschichtungfür verbesserte Haltbarkeit

Die SiC-Beschichtung bietet eine robuste Lösung gegen den Verschleiß und die Verschlechterung des Graphit-Suszeptors während des MOCVD-Prozesses. Die Beschichtung bietet eine hohe Korrosionsbeständigkeit durch die im Abscheidungsprozess verwendeten metallorganischen Vorläufer, was die Lebensdauer des Suszeptors erheblich verlängert. Darüber hinaus verhindert die SiC-Schicht, dass Graphitstaub den Wafer verunreinigt, ein entscheidender Faktor für die Gewährleistung der Integrität und Reinheit der Epitaxieschichten.

Die Beschichtung verbessert außerdem die allgemeine mechanische Festigkeit des Suszeptors und macht ihn widerstandsfähiger gegen hohe Temperaturen, Temperaturwechsel und mechanische Belastungen, die im MOCVD-Prozess üblich sind. Dies führt zu einer längeren Lebensdauer und geringeren Wartungskosten.

3. Hoher Schmelzpunkt und Oxidationsbeständigkeit

Der Pancake-Suszeptor mit SiC-Beschichtung ist für den Betrieb unter extremen Temperaturen ausgelegt, wobei die SiC-Beschichtung für Beständigkeit gegen Oxidation und Korrosion bei hohen Temperaturen sorgt. Der hohe Schmelzpunkt der Beschichtung ermöglicht es dem Suszeptor, den in MOCVD-Reaktoren typischen erhöhten Temperaturen standzuhalten, ohne seine strukturelle Integrität zu beeinträchtigen oder zu verlieren. Diese Eigenschaft ist besonders wichtig, um eine langfristige Zuverlässigkeit in Halbleiterfertigungsumgebungen mit hohem Durchsatz sicherzustellen.

4. Ausgezeichnete Oberflächenebenheit

Die Ebenheit der Oberfläche des Pancake-Suszeptors mit SiC-Beschichtung ist entscheidend für die richtige Positionierung und gleichmäßige Erwärmung der Wafer während des epitaktischen Wachstumsprozesses. Die Beschichtung sorgt für eine glatte, ebene Oberfläche, die dafür sorgt, dass der Wafer gleichmäßig an Ort und Stelle gehalten wird und Unregelmäßigkeiten beim Abscheidungsprozess vermieden werden. Dieses hohe Maß an Ebenheit ist besonders wichtig bei der Entwicklung hochpräziser Geräte wie LEDs und Leistungshalbleiter, bei denen Gleichmäßigkeit für die Geräteleistung von entscheidender Bedeutung ist.

5. Hohe Haftfestigkeit und thermische Kompatibilität

Die Verbundfestigkeit zwischen der SiC-Beschichtung und dem Graphitsubstrat wird durch die thermische Verträglichkeit des Materials erhöht. Die Wärmeausdehnungskoeffizienten der SiC-Schicht und der Graphitbasis sind eng aufeinander abgestimmt, was das Risiko von Rissen oder Delaminationen bei Temperaturwechseln verringert. Diese Eigenschaft ist für die Aufrechterhaltung der strukturellen Integrität des Suszeptors während der sich wiederholenden Heiz- und Kühlzyklen im MOCVD-Prozess von entscheidender Bedeutung.

6. Anpassbar für verschiedene Anwendungen

Semicorex versteht die vielfältigen Anforderungen der Halbleiterindustrie und der SiC-Beschichtungs-Pancake-Suszeptor kann an spezifische Prozessanforderungen angepasst werden. Ob für den Einsatz in der LED-Produktion, der Herstellung von Leistungsgeräten oder der Herstellung von HF-Komponenten, der Suszeptor kann an unterschiedliche Wafergrößen, -formen und thermische Anforderungen angepasst werden. Diese Flexibilität stellt sicher, dass der SiC Coating Pancake Susceptor für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie geeignet ist.



Anwendung in der Halbleiterfertigung


Der SiC-Beschichtungs-Pancake-Suszeptor wird hauptsächlich in MOCVD-Systemen verwendet, einer wichtigen Technologie für das Wachstum hochwertiger Epitaxieschichten. Der Suszeptor trägt verschiedene Halbleitersubstrate, darunter Saphir, Siliziumkarbid (SiC) und GaN, die für die Herstellung von Geräten wie LEDs, Leistungshalbleitergeräten und HF-Geräten verwendet werden. Das hervorragende Wärmemanagement und die Haltbarkeit des Pancake-Suszeptors mit SiC-Beschichtung stellen sicher, dass diese Geräte den anspruchsvollen Leistungsanforderungen moderner Elektronik gerecht werden.


In der LED-Produktion wird der SiC Coating Pancake Susceptor zum Aufwachsen von GaN-Schichten auf Saphirsubstraten verwendet, wobei seine hohe Wärmeleitfähigkeit dafür sorgt, dass die Epitaxieschicht gleichmäßig und frei von Defekten ist. Bei Leistungsbauelementen wie MOSFETs und SBDs spielt der Suszeptor eine entscheidende Rolle beim Wachstum von SiC-Epitaxieschichten, die für die Bewältigung hoher Ströme und Spannungen unerlässlich sind. In ähnlicher Weise unterstützt der SiC Coating Pancake Susceptor bei der Herstellung von HF-Geräten das Wachstum von GaN-Schichten auf halbisolierenden SiC-Substraten und ermöglicht so die Herstellung von HEMTs für Kommunikationssysteme.


Wenn Sie sich für Semicorex für Ihre SiC-Beschichtungs-Pancake-Suszeptor-Anforderungen entscheiden, stellen Sie sicher, dass Sie ein Produkt erhalten, das die Industriestandards für Qualität, Leistung und Haltbarkeit nicht nur erfüllt, sondern sogar übertrifft. Mit einem Fokus auf Präzisionstechnik, überlegener Materialauswahl und Anpassbarkeit sind die Produkte von Semicorex darauf ausgelegt, optimale Leistung in MOCVD-Systemen zu bieten. Unser Suszeptor trägt dazu bei, Ihren Produktionsprozess zu rationalisieren, hochwertige Epitaxieschichten sicherzustellen und Ausfallzeiten zu minimieren. Mit Semicorex gewinnen Sie einen zuverlässigen Partner, der sich für Ihren Erfolg in der Halbleiterfertigung einsetzt.



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