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CVD-SiC-beschichteter Graphit-Pancake-Suszeptor

CVD-SiC-beschichteter Graphit-Pancake-Suszeptor

Semicorex bietet hochwertige CVD-SiC-beschichtete Graphit-Pfannkuchen-Suszeptoren. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Graphitwerkstoffen. Unser CVD-SiC-beschichteter Graphit-Pfannkuchen-Suszeptor hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der mit CVD SiC (Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide) beschichtete Graphit-Pfannkuchen-Suszeptor von Semicorex ist eine weiterentwickelte Version des zuvor besprochenen Graphit-Pfannkuchen-Suszeptors. Es besteht aus einer dünnen SiC-Beschichtung, die im CVD-Verfahren auf die Oberfläche des Graphitsuszeptors aufgetragen wird.

Der CVD-SiC-beschichtete Graphit-Pfannkuchen-Suszeptor wird häufig in der Halbleiterverarbeitung verwendet, wie z. B. Wafer-Epitaxie, ICP-Ätzung, RTP-Prozess usw.





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