Pancake-Suszeptor für den Wafer-Epitaxieprozess

Der Semicorex-Pfannkuchen-Suszeptor für den Wafer-Epitaxieprozess ist eine hochreine Graphitbasis, die durch CVD-SiC-Beschichtung hergestellt wird. Unser Pancake-Suszeptor für den Wafer-Epitaxieprozess hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Waferepitaxie ist eine Technik, mit der hochwertige kristalline Filme auf einem Halbleitersubstrat gezüchtet werden. Dabei wird das Substrat in eine Reaktorkammer gelegt und einer kontrollierten Umgebung ausgesetzt, in der das gewünschte Material Schicht für Schicht abgeschieden wird.

Der Pancake-Suszeptor für den Wafer-Epitaxieprozess ist eine runde Form des Graphit-Suszeptors, der in verschiedenen Halbleiterprozessen wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) oder der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) verwendet wird, um die Temperaturgleichmäßigkeit zu verbessern und das Filmwachstum zu fördern.

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