Schlitzringe aus Poly-Si

Poly-Si-Schlitzringe werden üblicherweise in der Reaktionskammer moderner Halbleiter-Ätzanlagen installiert. Sie arbeiten synergetisch mit Siliziumteilen, einschließlich SiliziumFokusringe, Silikonaußenringe und SilikonDuschköpfe. Diese Teile können eine stabile und optimale Reaktionsumgebung für den Ätzprozess schaffen und so eine hervorragende Leistung gewährleistenRadierungPräzision und Prozesskonsistenz.

Funktionen von Semicorex Poly-Si-Schlitzringen

1. Semicorex-Poly-Si-Schlitzringe sind mit mehreren gleichmäßig verteilten Schlitzen ausgestattet, die als Gasdurchgänge dienen und eine reibungslose Ableitung der Prozessgase nach der Reaktion ermöglichen.

2. Semicorex-Poly-Si-Schlitzringe ermöglichen eine hervorragende Plasmakontrolle und bieten zuverlässigen Schutz für die Reaktionskammer von Halbleiter-Ätzgeräten.

3. Semicorex-Poly-Si-Schlitzringe können dabei helfen, das elektrische Feld und den Kammerdruck anzupassen und so zu verhindern, dass Instabilität die Konsistenz des Ätzprozesses beeinträchtigt.

Hochwertige Materialauswahl

Semicorex-Poly-Si-Schlitzringe werden aus hochwertigem polykristallinem Silizium mit einem Reinheitsgrad von über 99,9999 % hergestellt, was ihnen die folgenden hervorragenden Eigenschaften verleiht.

1. Ultrahohe Reinheit und extrem niedriger Verunreinigungsgehalt.

2. Außergewöhnliche Plasmakorrosionsbeständigkeit.

3. Günstige elektrische Eigenschaften, mit Widerstandsgleichmäßigkeit: RRG ≤ 5 %, niedrige Auflösung. (<0,02), mittlere Auflösung. (1–4) und hochauflösend. (70–90).

Fertigungskapazitäten und Qualitätskontrolle

Ausgestattet mit fortschrittlicher Bearbeitungsausrüstung und einem erfahrenen technischen Team kontrolliert Semicorex jeden Produktionsprozess streng und bietet unseren geschätzten Kunden hochwertige und gut aufeinander abgestimmte Poly-Si-Schlitzringe. Darüber hinaus führt Semicorex eine strenge Kontrolle der Dimensionsmessung, Widerstandsprüfung und Sichtprüfung der fertigen Poly-Si-Schlitzringe durch, um sicherzustellen, dass sie frei von Mängeln wie Absplitterungen, Kratzern, Rissen und Flecken sind.