CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung

Die CVD-TaC-Beschichtung von Semicorex zeichnet sich durch eine beeindruckende Härte aus, die typischerweise 2500–3000 HV auf der Vickers-Skala erreicht. Diese außergewöhnliche Härte ist auf die unglaublich starken kovalenten Bindungen zwischen Tantal- und Kohlenstoffatomen zurückzuführen, die eine dichte, undurchdringliche Barriere gegen abrasiven Verschleiß und mechanische Verformung bilden. In der Praxis bedeutet dies, dass Werkzeuge und Komponenten länger scharf bleiben, die Maßgenauigkeit der CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung beibehalten und über ihre gesamte Lebensdauer eine konstante Leistung liefern.

Graphit birgt mit seiner einzigartigen Eigenschaftskombination ein enormes Potenzial für ein breites Anwendungsspektrum. Allerdings schränkt seine inhärente Schwäche seine Verwendung oft ein. CVD-TaC-Beschichtungen verändern das Spiel, indem sie eine unglaublich starke Verbindung mit Graphitsubstraten eingehen und so ein synergistisches Material schaffen, das das Beste aus beiden Welten vereint: die hohe thermische und elektrische Leitfähigkeit von Graphit mit der außergewöhnlichen Härte, Verschleißfestigkeit und chemischen Inertheit von CVD TaC-Beschichtungsabdeckung.

Schnelle Temperaturschwankungen in Epitaxiereaktoren können verheerende Auswirkungen auf Materialien haben und zu Rissen, Verformungen und katastrophalen Ausfällen führen. Die CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung verfügt jedoch über eine bemerkenswerte Temperaturschockbeständigkeit und ist in der Lage, schnellen Aufheiz- und Abkühlzyklen standzuhalten, ohne ihre strukturelle Integrität zu beeinträchtigen. Diese Widerstandsfähigkeit beruht auf der einzigartigen Mikrostruktur der CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung, die eine schnelle Expansion und Kontraktion ermöglicht, ohne dass nennenswerte innere Spannungen entstehen.

Von ätzenden Säuren bis hin zu aggressiven Lösungsmitteln – das chemische Schlachtfeld kann gnadenlos sein. Die CVD-TaC-Beschichtung bleibt jedoch standhaft und weist eine bemerkenswerte Beständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Chemikalien und Korrosionsmitteln auf. Diese chemische Inertheit macht es zur idealen Wahl für Anwendungen in der chemischen Verarbeitung, der Öl- und Gasexploration und anderen Branchen, in denen Komponenten routinemäßig rauen chemischen Umgebungen ausgesetzt sind.

Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt

Weitere wichtige Anwendungen in Epitaxiegeräten:

Suszeptoren und Waferträger:Diese Komponenten halten und erhitzen das Substrat während des epitaktischen Wachstums. CVD-TaC-Beschichtungen auf Suszeptoren und Waferträgern sorgen für eine gleichmäßige Wärmeverteilung, verhindern eine Kontamination des Substrats und erhöhen die Beständigkeit gegen Verformung und Zersetzung durch hohe Temperaturen und reaktive Gase.

Gasinjektoren und Düsen:Diese Komponenten sind dafür verantwortlich, präzise Ströme reaktiver Gase an die Substratoberfläche zu liefern. CVD-TaC-Beschichtungen verbessern ihre Korrosions- und Erosionsbeständigkeit, sorgen für eine gleichmäßige Gaszufuhr und verhindern eine Partikelverunreinigung, die das Kristallwachstum stören könnte.

Kammerauskleidungen und Hitzeschilde:Die Innenwände von Epitaxiereaktoren sind starker Hitze, reaktiven Gasen und möglichen Ablagerungen ausgesetzt. CVD-TaC-Beschichtungen schützen diese Oberflächen, verlängern ihre Lebensdauer, minimieren die Partikelbildung und vereinfachen die Reinigungsverfahren.