Siliziumkarbid-Spannfutter

SemicorexSiliziumkarbid-Spannfuttersind funktionelle Adsorptionsgeräte ausSiliziumkarbid(SiC)-Keramikmaterial. Sie werden hauptsächlich in der Halbleiterindustrie, Photovoltaik, Präzisionsfertigung und anderen Bereichen eingesetzt, in denen extrem hohe Anforderungen an hohe Temperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, chemische Korrosionsbeständigkeit und Sauberkeit der Materialien gestellt werden.

SiC-Keramikmaterial weist eine hohe Temperaturbeständigkeit auf und behält seine strukturelle Stabilität in Umgebungen mit hohen Temperaturen. Seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit ermöglicht eine schnelle Ableitung der bei der Adsorption entstehenden Wärme und verhindert so eine Überhitzung des Werkstücks. Aufgrund seiner außergewöhnlichen Härte eignet sich das Material zum Greifen rauer oder harter Werkstücke. Darüber hinaus macht die chemische Inertheit des SiC-Keramikmaterials es beständig gegen Korrosion durch starke Säuren, starke Laugen und organische Lösungsmittel. Die geringe Niederschlagsleistung dieses Materials bei der Ausfällung von Verunreinigungen verhindert eine Kontamination durch Verunreinigungen und verlängert die normale Betriebszeit der Ausrüstung, wodurch die Ultra-Reinigkeitsanforderungen der Halbleiterindustrie erfüllt werden.

Typische Eigenschaften von Semicorex-Siliziumkarbid-Spannfuttern

1.Hohe Präzision: Die Ebenheit beträgt 0,3–0,5 μm.

2.Spiegelpolieren

3.Ultraleichtes Gewicht

4. Hohe Steifigkeit

5. Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

6. Hervorragende Verschleißfestigkeit

Die Anwendungsszenarien von Siliziumkarbid-Spannfuttern

Halbleiterfertigung

Wafertransfer und -verarbeitung: Bei Prozessen wie Fotolithografie und Ätzen muss der Wafer in einer Vakuumumgebung stabil adsorbiert werden, um Verschiebungsfehler zu vermeiden.

Plasmakorrosionsbeständigkeit: Beim Halbleiterätzprozess kann eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit die Lebensdauer des Produkts verlängern.

Produktion von Photovoltaikzellen

Schneiden von Siliziumwafern: Adsorbiert Siliziumwafer, um Schnittvibrationen zu widerstehen und die Fragmentierungsrate von Siliziumwafern zu reduzieren.

Präzisionsoptik- und Elektronikfertigung

Verarbeitung von Saphirsubstraten: Saphirsubstrate, die bei der Herstellung von LED-Chips verwendet werden, erfordern eine Vakuumadsorption. Die Adsorptionskraft muss das Gewicht des Substrats überwinden und ein Verkratzen der Produktoberfläche vermeiden.

Siliziumkarbid-Spannfutter sind aufgrund ihrer hervorragenden Leistung zu wichtigen Verbrauchsmaterialien in der High-End-Fertigung geworden und fördern den technologischen Fortschritt in Branchen wie Halbleiter, Photovoltaik und Präzisionsfertigung.