Poröse Alumina -Chucks

Semikorex poröse Aluminiumoxid-Chucks sind für die empfindlichsten Wafer speziell gebaut. Ihr poröses Design sorgt für eine konsistente Vakuumverteilung über die Chuck -Oberfläche, die einen verringerten lokalisierten Spannung gewährleistet und die Vorbeugung von Kantenfalken und Bruch hilft. Die mechanische Klemme (fest oder auf andere Weise) ist nicht so wirksam wie das mikroporöse Netzwerk, das selbst empfindliche Wafer ohne die über einschränkende mechanische Spannung hält und gleichzeitig den Wafer sicher repariert, da die mikroporöse Struktur Verschleiß verhindert und einen sanften Einfluss aufweist. Die Notwendigkeit einer gleichmäßigen Adsorption über die gesamte Chuck -Oberfläche ist besonders für Wafer, die größer und dünner sind, von entscheidender Bedeutung, was während der automatischen Handhabung und während der Ausführung hocher Präzisionsverarbeitungsschritte viel weniger Stress tolerieren kann.

Das Chuck ist für 35-40% Porosität optimiert und entwickelt ein Netzwerk von Inter-Connecting-Poren, die dazu dienen, die Luft zu evakuieren und gleichzeitig genügend mechanische Festigkeit zu bieten, um den Wafer gegen Prozesskräfte an Ort und Stelle zu halten. Dies bedeutet, dass die Vakuumhaltekraft stabil bleibt, während die Wafer auch in schneller Folge bewegt werden, während eine komplexe Prozesssequenz durchgeführt wird. Die Adsorption innerhalb eines mikroporösen Netzwerks bietet mehr Stabilität als einfach durch einfaches Druckunterschiede innerhalb des Vakuumsystems.

Die schwarze Aluminiumoxid (al₂o₃) selbst ist das ultimative Material, weil es hart, träge und chemisch inert ist. Es wird keine nennenswerte Oberfläche abbauen und wird durch wiederholte Waferzyklen (Platzierung/ Vakuumadsorption/ Kühlung) nicht beeinflusst. Das SchwarzeAluminaist dimensional stabil und ändert sich daher trotz Temperaturänderungen, die während des Prozesses (Heizung und Kühlung) oder in der Umgebung auf natürliche Weise auftreten, nicht.

Chemischer Widerstand ist ein weiterer wichtiger Vorteil von schwarzem Aluminiumoxid. Das Chuck kann in aggressiven Reinigungs-, Plasma- und Ätzumgebungen arbeiten, ohne seine strukturelle Integrität zu beeinträchtigen. Seine Inertheit verhindert die Verunreinigung der Waferoberfläche und sorgt für eine hohe Prozessreinheit und die Einhaltung von Reinraumstandards.

Die mikroporöse Struktur bietet auch eine unterstützende Oberfläche, die die Spannungskonzentration auf dünnen und spröden Wafern lindert. Im Tandem mit präziser Oberflächenflatheit und glatten Oberflächenfinish minimiert die porösen Aluminiumoxid-Chucks das Auftreten von Mikro-Cracks und Kratzern, die die Integrität des Wafers in der Hand beeinträchtigen könnten.

Aluminina -KeramikHat hervorragende Härte, hohe mechanische Festigkeit, einen geringen Wärmekoeffizienten der Expansion und eine hervorragende thermische Stabilität, wodurch es zu einem praktischen Material für eine Präzisions -Halbleiteranwendung ist. Seine chemische Inertheit bedeutet auch, dass sie Säuren, Alkalien und Plasma standhalten kann, während Verschleißresistenzeigenschaften die Haltbarkeit sicherstellen können. Diese Vorteile machen Aluminiumoxid zum Material der Wahl für mikroporöse Vakuum-Chicks und bieten sowohl Zuverlässigkeit als auch Vorhersehbarkeit der Leistung.

Zusammenfassend sind die porösen Aluminiumoxid -Chucks so ausgelegt, dass sie ein gleichmäßiges Handling mit einem einheitlichen und überlebensfähigen Wafer liefern. Die mikroporöse schwarze Aluminiumoxidstruktur bietet eine sogar Vakuumadsorption (Gleichmäßigkeit) und gleichzeitig die mechanische Spannung und die Verringerung der Waferschädigung minimieren. Als Chuck trägt die wesentliche und optimale Porosität zusammen mit hervorragenden thermischen, mechanischen und chemischen Eigenschaften bei, die Sicherheit, den Wert und die Zuverlässigkeit des Betriebs bei harten Herstellungsbedingungen zu optimieren. Die hervorragende Kombination aus robuster, einheitlicher und sicherer Handhabung, die die porösen Aluminiumoxid -Chucks Hersteller anbieten können, sind einfach selten und einzigartig.