Semicorex-Aluminiumoxid-Keramik-Roboterarme, auch Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren genannt, sind die entscheidenden Keramikteile, die hauptsächlich in der Halbleiter-Frontend-Fertigung für die Handhabung, den Transport und die Positionierung von Wafern eingesetzt werden. Semicorex-Aluminiumoxidkeramik-Roboterarme, die sich sowohl durch zuverlässige Leistung als auch durch wettbewerbsfähige Kosten auszeichnen, können eine hochpräzise, kontaminationsfreie und beschädigungsfreie Waferübertragung gewährleisten.
Keramikroboterarme zeichnen sich durch hohe Sauberkeit, hervorragende Parallelität, präzise Abmessungen, stabile Zuverlässigkeit und effizienten Betrieb aus und sind unverzichtbare Komponenten, die häufig in der fortschrittlichen Halbleiterfertigung eingesetzt werden. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der industriellen Automatisierung wächst die Marktnachfrage nach keramischen Roboterarmen stetig.
High-End-Industrien, darunter die Waferherstellung, der Photovoltaikbereich und die Präzisionselektronikbranche, stellen strenge Betriebsanforderungen an Gerätekomponenten. SemicorexAluminiumoxidkeramikRoboterarme können diese strengen Anforderungen der Halbleiterfertigung unter Vakuum- und Hochtemperaturbedingungen dank ihrer überlegenen Materialleistung (siehe unten) vollständig erfüllen.
1. Hohe mechanische Festigkeit und Härte
2. Hoher Schmelzpunkt und zuverlässige thermische Stabilität
3. Außergewöhnliche chemische Korrosion
4. Hervorragende elektrische Isolationsleistung
| Eigenschaften |
Dichte |
Biegefestigkeit (20℃) |
Druckfestigkeit (20℃) |
Härte (Knoop 1000 g) |
Zugfestigkeit (25℃) |
Wärmeausdehnungskoeffizient (25-1000℃) |
Maximale Einsatztemperatur |
||||||||||
| Einheit | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5 % Al₂O₃ |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Die oben genannten Daten dienen nur als Referenz
1. Hochpräzises Handling
SemicorexRoboterarme aus Aluminiumoxidkeramikeignen sich ideal für die stabile Waferhandhabung und das hochpräzise Wafergreifen und -transport in kontaminationsempfindlichen Waferfertigungswerkstätten im Halbleiter- und Photovoltaikbereich und stellen zuverlässig die Sauberkeit der Wafer und die Chipausbeute sicher.
2. Chemische Verarbeitung
Semicorex-Roboterarme aus Aluminiumoxidkeramik halten der Korrosion starker Säuren und Laugen stand und eignen sich gut für den Betrieb unter aggressiven chemischen Bedingungen, beispielsweise in der chemischen Industrie und bei der Produktion neuer Energiebatterien.
3. Hochtemperaturfertigung: Semicorex-Roboterarme aus Aluminiumoxidkeramik können in großem Umfang in den Bereichen Glasproduktion, Guss und Metallurgie eingesetzt werden, da sie die Anforderungen an die Aufrechterhaltung zuverlässiger Festigkeit und Stabilität unter anspruchsvollen Hochtemperaturumgebungen erfüllen können.