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Die festen CVD-SiC-Ringe von Semicorex sind leistungsstarke ringförmige Komponenten, die hauptsächlich in den Reaktionskammern von Plasmaätzanlagen in der modernen Halbleiterindustrie verwendet werden. Die massiven CVD-SiC-Ringe von Semicorex unterliegen einer strengen Materialauswahl und Qualitätskontrolle und bieten beispiellose Materialreinheit, außergewöhnliche Plasmakorrosionsbeständigkeit und konstante Betriebsleistung.

Semicorex SiC-Dichtungen sind leistungsstarke mechanische Flächenkomponenten, die entwickelt wurden, um in den anspruchsvollsten Umgebungen rotierender Anlagen eine hervorragende Verschleißfestigkeit, thermische Stabilität und universelle chemische Inertheit zu bieten. Semicorex ist ein professioneller Anbieter von SiC-Keramikmaterialien, der hochpräzise Produkte für globale Kunden liefern kann.*

Der Semicorex SiC-Sockel ist eine hochpräzise, ​​multifunktionale Hardwarekomponente, die die thermische Stabilität und die komplexe Flüssigkeitsverteilung bietet, die für fortschrittliche Mikrokanal-Reaktionssysteme erforderlich sind. Semicorex ist auf die Entwicklung und Lieferung dieser hochreinen SiC-Sockel entsprechend den Kundenbedürfnissen spezialisiert.*

Semicorex SiC-beschichtete Graphitvorrichtungen sind die wesentlichen Graphitkomponenten, die mit einer dichten und gleichmäßigen SiC-Beschichtung bedeckt sind. In Kombination mit den hervorragenden Eigenschaften von Graphit und Siliziumkarbid funktionieren Semicorex SiC-beschichtete Graphitvorrichtungen zuverlässig unter den komplexen Halbleiterverpackungs- und Testbedingungen.

Semicorex SiC-Keramik-Vakuumspannfutter werden aus hochreinem gesintertem dichtem Siliziumkarbid (SSiC) hergestellt und sind die ultimative Lösung für die hochpräzise Handhabung und Ausdünnung von Wafern. Sie bieten beispiellose Steifigkeit, thermische Stabilität und Ebenheit im Submikrometerbereich. Semicorex ist bestrebt, Kunden weltweit qualitativ hochwertige und kosteneffiziente Produkte anzubieten.*

Semicorex CVD SiC-beschichtete Ofenrohre sind hochwertige Rohrkomponenten, die speziell für die Hochtemperatur-Halbleiterverarbeitung wie Oxidation, Diffusion und Glühen von Halbleiterwafern hergestellt werden. Durch den Einsatz fortschrittlicher Verarbeitungstechnologien und ausgereifter Fertigungserfahrung ist Semicorex bestrebt, unseren geschätzten Kunden präzisionsgefertigte CVD-SiC-beschichtete Ofenrohre in marktführender Qualität zu liefern.