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Produkte
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TaC-Platte
Die Semicorex TaC-Platte ist eine leistungsstarke, TaC-beschichtete Graphitkomponente, die für den Einsatz in SiC-Epitaxie-Wachstumsprozessen entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex aufgrund seiner Expertise in der Herstellung zuverlässiger, hochwertiger Materialien, die die Leistung und Langlebigkeit Ihrer Halbleiterproduktionsanlagen optimieren.*
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TaC-beschichtetes Graphitteil
Das mit TaC beschichtete Graphitteil von Semicorex ist eine Hochleistungskomponente, die für den Einsatz in SiC-Kristallwachstums- und Epitaxieprozessen entwickelt wurde und über eine dauerhafte Tantalkarbidbeschichtung verfügt, die die thermische Stabilität und chemische Beständigkeit verbessert. Wählen Sie Semicorex aufgrund unserer innovativen Lösungen, unserer hervorragenden Produktqualität und unseres Fachwissens bei der Bereitstellung zuverlässiger, langlebiger Komponenten, die auf die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind.*
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TaC-beschichtetes Graphitfutter
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck ist eine Hochleistungskomponente, die für die präzise Handhabung von Wafern und Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Wählen Sie Semicorex aufgrund seiner innovativen, langlebigen Produkte, die optimale Leistung und Langlebigkeit in anspruchsvollen Halbleiteranwendungen gewährleisten.*
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TaC-Ring
Der Semicorex TaC-Ring ist eine Hochleistungskomponente, die für das Wachstum von SiC-Einkristallen entwickelt wurde und eine optimale Gasflussverteilung und Temperaturkontrolle gewährleistet. Wählen Sie Semicorex aufgrund unseres Fachwissens in fortschrittlichen Materialien und Präzisionstechnik und der Bereitstellung langlebiger und zuverlässiger Lösungen, die die Effizienz und Qualität Ihrer Halbleiterprozesse verbessern.*
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Elektrostatisches PBN-Spannfutter
Der PBN Electrostatic Chuck von Semicorex zeichnet sich im Bereich Wafer-Handling in der Halbleiterfertigung durch seine einzigartigen Materialeigenschaften aus.
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Siliziumnitridwalze
Der von Semicorex vorgestellte Siliziumnitrid-Roller besteht aus gasdruckgesintertem Siliziumnitrid (Si3N4), einem Hochleistungskeramikmaterial.
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