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Produkte
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Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxidkeramik
Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxidkeramik sind funktionelle Adsorptionskomponenten, die speziell zum Spannen und Fixieren der Halbleiterwafer entwickelt wurden. Sie bestehen aus leistungsstarker Aluminiumoxidkeramik und bieten mehrere hervorragende Eigenschaften, wie beispielsweise bemerkenswerte mechanische Festigkeit, außergewöhnliche elektrische Isolierung und hervorragende Oberflächenebenheit.
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SIC-Horizontalofenrohre
SIC-Horizontalofenrohre sind horizontal angeordnete röhrenförmige Reaktions- und Heizbehälter, die stabile Hochtemperatur-Verarbeitungsumgebungen für Halbleitermaterialien bieten. Mit ihren beispiellosen Materialeigenschaften, ihrem präzisen Design und ihrer dauerhaften Lebensdauer sind die SIC-Horizontalofenrohre von Semicorex die optimalen Lösungen zur Verbesserung von Ausbeute und Produktqualität.
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SiC-Keramik-Roboterarm
Der SiC-Keramik-Roboterarm ist das lebenswichtige Siliziumkarbid-Keramikteil, das speziell für die präzise Handhabung und Positionierung von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Mit seiner bemerkenswerten Leistung und langen Lebensdauer ist der Roboterarm aus SiC-Keramik in der Lage, einen stabilen und effektiven Betrieb im fortschrittlichen Halbleiterfertigungsprozess zu gewährleisten.
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Schleiftrommeln aus Siliziumkarbid
Siliziumkarbid-Mahltrommeln sind fortschrittliche Keramikbehälter, die für die Aufnahme von Materialien und Mahlmedien (z. B. Mahlperlen) verantwortlich sind und gleichzeitig eine verfeinerte Verarbeitung der Materialien ermöglichen. Siliziumkarbid-Schleiftrommeln bestehen hauptsächlich aus leistungsstarkem Siliziumkarbid und verfügen über eine ausgezeichnete Härte, hervorragende Verschleißfestigkeit und außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit.
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Fokusringe aus Siliziumkarbid
Siliziumkarbid-Fokusringe, die entscheidenden Ringteile, wurden speziell entwickelt, um die Gleichmäßigkeit und Stabilität der Waferätzung beim Halbleiter-Plasmaätzen zu verbessern. Sie sind bekannt für ihre hervorragende Leistung bei der Förderung einer gleichmäßigen Plasmaverteilung und der Optimierung der elektrischen Feldumgebung.
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Verschleißfeste SiC-Buchse
Die verschleißfeste SiC-Buchse von Semicorex ist eine hochfeste Siliziumkarbid-Keramikhülse, die für extreme Haltbarkeit, Hochtemperaturstabilität und langfristige Verschleißfestigkeit in anspruchsvollen Industriesystemen entwickelt wurde. Die Wahl von Semicorex gewährleistet höchste Materialreinheit, präzise kundenspezifische Bearbeitung und durchweg zuverlässige Keramikkomponenten, gestützt auf umfassendes Fachwissen in der fortschrittlichen SiC-Technik.*
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