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Semicorex C/C-Verbundführungszylinder sind unverzichtbare Funktionskomponenten, die speziell für das Wachstum von hochreinem monokristallinem Silizium verwendet werden. Die aus Hochleistungs-Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoffen mithilfe spezieller Technologien hergestellten Semicorex C/C-Verbundführungszylinder gewährleisten einen stabilen Langzeitbetrieb unter den anspruchsvollen monokristallinen Silizium-Thermofeldern mit hohen Temperaturen und korrosiven Atmosphären.

Die 6-Zoll-SiC-Waferboote von Semicorex sind die entscheidenden Transportwerkzeuge für Keramikwafer, die zum Halten, Übertragen und Verarbeiten von Wafern verwendet werden. Die auf die Aufnahme von 6-Zoll-Wafern zugeschnittenen 6-Zoll-SiC-Waferboote von Semicorex sind perfekt kompatibel mit den rauen Arbeitsbedingungen des Halbleiterdiffusionsprozesses bei hohen Temperaturen und bieten kontaminations- und beschädigungsfreie Ergebnisse bei der Waferhandhabung.

Semicorex-Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren sind unverzichtbare mechanische Strukturkomponenten, die präzise aus hochwertiger Aluminiumoxid-Keramik hergestellt werden. Semicorex-Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren sind in der Lage, wichtige Wafer-Handhabungsaufgaben, einschließlich Wafer-Aufnahme, -Transport und -Ausrichtung, präzise auszuführen und finden breite Anwendung in High-End-Halbleiterfertigungsgeräten und hochpräzisen Automatisierungssystemen.

Semicorex SiC-beschichtete Heizelemente sind CVD-SiC-beschichtete Graphitheizkomponenten, die für Halbleiter-Wärmefelder entwickelt wurden und eine effiziente Wärmeerzeugung, hervorragende Korrosionsbeständigkeit und langfristige Zuverlässigkeit in Hochtemperatur-Verarbeitungsgeräten bieten. Semicorex liefert maßgeschneiderte SiC-beschichtete Graphitheizungen und komplette Wärmefeldlösungen an Halbleiterhersteller weltweit, unterstützt durch fortschrittliche CVD-Beschichtungstechnologie, Präzisionstechnik und zuverlässige globale Lieferung.*

Semicorex SiC-Keramikpaddel sind freitragende Waferträger aus hochreinem Siliziumkarbid, die für die zuverlässige Handhabung und den Transport von Wafern in Hochtemperatur-Halbleiterofenprozessen entwickelt wurden und eine hervorragende thermische Stabilität, geringe Kontamination und eine lange Lebensdauer bieten. Semicorex beliefert Kunden auf der ganzen Welt mit leistungsstarken SiC-Keramikofenkomponenten und bietet maßgeschneiderte Designs, Präzisionsfertigung und zuverlässige globale Lieferung für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie.*

Semicorex SiC-Brennerdüsen sind Hochleistungs-Siliziumkarbidkomponenten, die für eine effiziente Verbrennung, hervorragende thermische Stabilität und lange Lebensdauer in industriellen Hochtemperatur-Heizsystemen entwickelt wurden. Semicorex stellt Präzisions-SiC-Brennerdüsen mit fortschrittlicher Keramiktechnologie, gleichbleibender Qualität und maßgeschneiderten Lösungen her, um den anspruchsvollen Anforderungen industrieller Ofen- und Ofenanwendungen gerecht zu werden.*