Semicorex C/C-Verbundführungszylinder sind unverzichtbare Funktionskomponenten, die speziell für das Wachstum von hochreinem monokristallinem Silizium verwendet werden. Die aus Hochleistungs-Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoffen mithilfe spezieller Technologien hergestellten Semicorex C/C-Verbundführungszylinder gewährleisten einen stabilen Langzeitbetrieb unter den anspruchsvollen monokristallinen Silizium-Thermofeldern mit hohen Temperaturen und korrosiven Atmosphären.
SemicorexC/C-VerbundwerkstoffFührungszylinder werden typischerweise über dem Tiegel platziert und bilden zusammen mit C/C-Verbundtiegeln, C/C-Verbund-Wärmeisolationszylindern und C/C-Verbundheizern eine optimale Umgebung für das Kristallziehen. Als wesentliche Komponenten in den Kristallwachstumsöfen können die Leistung der C/C-Verbundführungszylinder dank ihrer wie folgt aufgeführten Funktionen die Kristallqualität und Zieheffizienz von Siliziumbarren wirksam verbessern:
SemicorexFührungszylinder aus C/C-Verbundwerkstoffkann die Wärmeverteilung innerhalb der Wärmefelder regulieren und so günstige thermodynamische Bedingungen für das Wachstum von Siliziumkristallen schaffen.
Führungszylinder aus C/C-Verbundwerkstoff von Semicorex können den Fluss von Argongas lenken und beschleunigen, um zu verhindern, dass flüchtige SiO-Anteile zurückfallen und Siliziumkristalle verunreinigen, wodurch Sauerstoffverunreinigungen verringert und die Kristallreinheit verbessert werden.
Führungszylinder aus C/C-Verbundwerkstoff von Semicorex können den Wärmeverlust in heißen Kristallwachstumszonen zur Wärmeisolierung unterdrücken, was den Energieverbrauch von Kristallwachstumsöfen erheblich reduziert.
1. Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit zur Aufrechterhaltung einer gleichbleibenden Dimensionsstabilität in Siliziumwachstumsumgebungen mit extrem hohen Temperaturen.
2. Geringe Wärmeleitfähigkeit, um eine bemerkenswerte Wärmespeicherleistung für einen günstigen Temperaturgradienten zu gewährleisten.
3. Außergewöhnliche mechanische Festigkeit und Zähigkeit, um eine stabile strukturelle Stabilität während des Langzeit-Ziehvorgangs von Silizium aufrechtzuerhalten.
4. Geringe Dichte und geringes Gesamtgewicht, um die Gerätebelastung deutlich zu reduzieren und die Betriebsstabilität zu verbessern.
5. Flexible Komponentenkompatibilität zur Anpassung an verschiedene Ofentypen und Betriebsbedingungen.
Mit den oben genannten zahlreichen praktischen Funktionen und zuverlässiger Leistung werden Semicorex C/C-Verbundführungszylinder häufig in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung eingesetzt. Sie dienen als entscheidende Verschleißteile für das qualitativ hochwertige Ziehen von Siliziumblöcken und sorgen für eine zuverlässige Gasströmungsführung und Wärmeisolierung in Kristallwachstumsöfen.