Ringnut-Aluminiumoxid-Spannfutter

Semicorex-Aluminiumoxidspannfutter mit ringförmigen Rillen weisen eine Oberflächenstruktur auf, die aus einer Reihe mehrerer konzentrischer ringförmiger Rillen besteht. In Verbindung mit der Vakuumpumpe bilden diese Rillen ringförmige Unterdruckzonen, um dünne Wafer und Werkstücke stabil und präzise zu positionieren. Ringnut-Aluminiumoxid-Spannfutter von Semicorex funktionieren gut unter Arbeitsbedingungen, die ein strenges Ebenheitsmanagement und eine gleichmäßig verteilte Adsorptionskraft erfordern und häufig beim Halten von Wafern, der Belichtungspositionierung, beim Plasmaätzen sowie bei Wafer-Inspektions- und Transferprozessen eingesetzt werden.

Vorteile von Semicorex-Ringnut-Aluminiumoxid-Spannfuttern

1. Außergewöhnliche Hochtemperaturbeständigkeit

Durch Verdichtungssintern hergestellte Aluminiumoxidkeramiken weisen eine bemerkenswerte thermische Leistung auf. Aufgrund dieser Materialeigenschaft funktionieren Semicorex-Aluminiumoxid-Spannfutter mit ringförmigen Nuten stabil in Arbeitsumgebungen mit extrem hohen Temperaturen, ohne strukturelle Verformung und Leistungseinbußen im Langzeitgebrauch.

2. Gleichmäßige Adsorptionskraft

Semicorex ringförmig gerilltAluminiumoxid-Spannfutterweisen auf ihrer Adsorptionsfläche mehrere ringförmige Rillen auf, in denen sich stabile ringförmige Vakuumzonen ausbilden. Diese Konfiguration ermöglicht eine gleichmäßige Adsorptionskraft über die Hauptkontaktflächen des Wafers hinweg, wodurch die teilweise Verformung und Verwerfung des Wafers erheblich verringert wird.

3. Überlegene strukturelle Stabilität und hohe Wiederholgenauigkeit

Die Ringnut-Aluminiumoxidspannfutter von Semicorex zeichnen sich durch eine überragende Materialsteifigkeit und strukturelle Stabilität aus und sind in der Lage, bei wiederholten Vakuumspannvorgängen über einen langen Zeitraum hinweg eine ausgezeichnete Ebenheit und konsistente Positionierungsgenauigkeit beizubehalten.

4. Starke chemische Korrosionsbeständigkeit

WegenAluminiumoxidAufgrund der zuverlässigen chemischen Stabilität zeichnen sich die Ringnut-Aluminiumoxidspannfutter von Semicorex durch eine hervorragende Beständigkeit gegenüber den meisten sauren und alkalischen Substanzen sowie verschiedenen korrosiven Prozessgasen aus und eignen sich hervorragend für anspruchsvolle korrosive Betriebsbedingungen.

5. Hervorragende Sauberkeit

Dank der strengen Kontrolle der Materialreinheit und der Verdichtungsbehandlung geben die ringgerillten Aluminiumoxid-Spannfutter von Semicorex im Betrieb selten Partikel ab und setzen Verunreinigungen frei, was die strengen Standards für geringe Kontamination in Halbleiter-Reinräumen vollständig erfüllt.

Warum Semicorex wählen?

Als branchenführendes Unternehmen in China verfügt Semicorex über integrierte Produktionslinien und ein erfahrenes technisches Team. Wir können unseren Kunden maßgeschneiderte technische Unterstützung und optimierte Prozesslösungen bieten und ihnen eine nicht standardmäßige, kundenspezifische Fertigung unserer ringgenuteten Aluminiumoxid-Spannfutter in Bezug auf Materialreinheit, Spannfutterform, Abmessungen, Ebenheit, Toleranzen und andere Anforderungen ermöglichen.