Aluminiumoxid-Roboterarme

Semicorex-Aluminiumoxid-Roboterarme werden typischerweise in den Wafer-Handhabungsrobotern installiert und dienen als Wafer-TransferEndeffektorDabei handelt es sich um die sichere und präzise Übergabe von Halbleiterscheiben an die gewünschten Positionen. Durch ihre internen Luftlöcher und Gaskanäle können Aluminiumoxid-Roboterarme einen konstanten Unterdruck erzeugen, um Halbleiterwafer fest zu adsorbieren. Durch dieses Adsorptionsverfahren wird ein sanfter Kontakt mit der Waferoberfläche erreicht, der unerwünschte Oberflächenkratzer und mechanische Beschädigungen wirksam verhindert und so einen Rundumschutz der Halbleiterwafer gewährleistet.

Vorteile von Roboterarmen aus Aluminiumoxid

Semicorex führt eine strenge Qualitätskontrolle für seine Produkte durch, beginnend mit der Auswahl der Rohstoffe.

Seine Roboterarme aus Aluminiumoxid werden präzise aus hochreinem Aluminiumoxid hergestelltAluminiumoxidGranulationspulver, das die folgenden hervorragenden Eigenschaften aufweist.

1. Ultrahohe Sauberkeit

Die Aluminiumoxid-Roboterarme von Semicorex zeichnen sich durch eine hohe Materialreinheit und eine dichte Mikrostruktur aus, die es ihnen ermöglicht, die Freisetzung von Metallionen und die Freisetzung von Mikropartikeln während des Betriebs zu vermeiden und so die strengen Sauberkeitsanforderungen der Halbleiterfertigung vollständig zu erfüllen.

2. Hohe elektrische Isolationsleistung

Dank ihrer hohen elektrischen Isolationsleistung sind Semicorex-Aluminiumoxid-Roboterarme in der Lage, die Ladungserzeugung während ihres Betriebs zu minimieren. Diese zuverlässige Leistung kann die unerwünschte Ladungsübertragung von Aluminiumoxid-Roboterarmen auf Halbleiterkomponenten wirksam verhindern und das Risiko einer Beschädigung der empfindlichen Halbleiterkomponenten verringern.

3. Günstige Kostenleistung

Anders alsSiC-RoboterarmeAluminiumoxid-Roboterarme bieten einen günstigen Preis bei gleichzeitig stabiler Leistung. Semicorex-Aluminiumoxid-Roboterarme bieten eine hervorragende mechanische Festigkeit, Verschleißfestigkeit, Hitzebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit, sodass sie unter hoher Belastung, Hochfrequenzbetrieb, hohen Temperaturen und stark korrosiven Arbeitsbedingungen über einen langen Zeitraum hinweg zuverlässig funktionieren. Diese überlegene Haltbarkeit verlängert effektiv die Lebensdauer von Aluminiumoxid-Roboterarmen und reduziert die Effizienz und die Kosten für den Komponentenaustausch.

Anwendungen von Semicorex-Aluminiumoxid-Roboterarmen

Semicorex-Aluminiumoxid-Roboterarme werden häufig im Front-End von Halbleiterfertigungsverfahren eingesetzt, darunter Ätzen, Dünnschichtabscheidung, Ionenimplantation und CMP-Prozesse. Sie können Halbleiterwafer und -komponenten unter Vakuum und Betriebsbedingungen mit hoher Sauberkeit stabil, sicher und präzise in verschiedenen Prozesskammern und Geräten halten, transportieren und positionieren.