Alumina -Roboterarm

Semicorex Alumina-Roboterarm ist ein Hochleistungskeramikteil für Wafer- und Übertragungsaufgaben in der Halbleiterproduktion. Dieser Roboterarm aus Aluminiumoxid-Keramik mit hoher Purity-Keramik (Al₂o₃) bietet Flexibilität, Präzision, Zuverlässigkeit und Haltbarkeit in Reinräumen.

Was für den Alumina -Roboterarm auffällt, sind die Eigenschaften vonAluminiumoxidkeramikmechanische Stärke und Härte. AlsAluminawird reiner gemacht, Aluminiumoxid hat eine bessere strukturelle Integrität und macht es resistenter gegen mechanische Verschleiß und Verformung. Als Material ist Alumina eine gute Wahl für Roboterteile, die in empfindlichen und sich wiederholenden Waferhandhabungsaufgaben verwendet werden, d. H. Wenn ein Roboterarm die gleiche Funktion ausführen und Kontakt mit Wafern aufnehmen muss, kann eine geringfügige Verzerrung, die vom Roboterarm auf den Wafer angewendet wird, eine Anlageverluste kosten. Die hohe Härte, d. H. Starre Oberflächen, kann beim Schleifwiderstand und bei der funktionellen Lebensdauer helfen, d. H. Die Lebensdauer und Dauer von Service/ Ersatz in einer Roboterkomponente.

Über seine mechanische Haltbarkeit hinaus ist der Aluminiumoxid -Roboterarm auch ein ausgezeichneter elektrischer Isolator. Der Widerstand beträgt bis zu 10¹⁵ ω · cm und die Isolationsstärke beträgt bis zu 15 kV/mm bei Raumtemperatur, was eine viel sicherere Umgebung für den Betrieb bietet, insbesondere wenn die störenden elektrischen Signale in den Verarbeitungsgeräten verringert werden müssen. Dies wird wichtig, wenn der Schutz empfindlicher Halbleiterkomponenten, die zwischen Prozessen mit minimalem Risiko einer Schädigung elektrostatischer Entladung (ESD) übertragen werden.

Die Aluminiumoxidkeramik ist hervorragend darin, die Stabilität über sehr hohe Temperaturen aufrechtzuerhalten. Der Schmelzpunkt beträgt ungefähr 2050 ° C und stand den hohen Temperaturen bei der thermischen Verarbeitung der Halbleiter ohne Verziehen oder dimensionale Genauigkeit. Der hohe Wärmewiderstand ermöglicht es, dass der Arm in Prozessen wie schnellem thermischem Glühen (RTA) oder chemischer Dampfabscheidung (CVD) verwendet wird, wobei Präzisionsausrichtung und thermische Stabilität kritisch sind.

Einer der anderen bedeutenden Vorteile des Aluminiumoxid -Roboterarms ist seine Trägheit. Seine Oberfläche ist für die meisten Reinigungsmittel und Prozessgase inerert, die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden. Daher bleibt es frei kontaminationsfrei und trägt nicht zur Verunreinigung der Waferoberfläche bei. Diese chemische Inertheit ist der Schlüssel zur Erzielung von Produktionsbedingungen mit ultra-verarbeiteten Produkten und der konsistenten Geräteleistung.

Aluminiumoxidkeramikist auch eine erschwingliche Option für die Halbleiter -Werkzeuge. Es ist leicht als Rohstoff erhältlich und die Bearbeitungsprozesse der Aluminiumoxidkeramik sind gut verstanden und leicht skalierbar. Dies ermöglicht es, dass reproduzierbare und konsistente Toleranzen für hochwertige Teile zu einem Wettbewerbspreis erzeugt werden. Die Mischung aus Leistung und Erschwinglichkeit macht den Alumina -Roboterarm ideal für OEMs und Halbleiter Fabs, wo Sie zuverlässige Automatisierungskomponenten benötigen, die die Bank nicht brechen.

Zusammenfassend bietet der Alumina -Roboterarm eine hohe mechanische Leistung, hohe dielektrische Leistung, hohe thermische Resistenz und hohe chemische Leistung, alle mit nachgewiesener Herstellbarkeit zu einem wirtschaftlichen Preis. Insgesamt machen diese Leistungsmerkmale es zuverlässig und effizient für Präzisions -Wafer -Handhabungsanwendungen bei der Herstellung von Halbleiter, wodurch eine verbesserte Ertragsabgabe ermöglicht wird, wodurch möglicherweise das Risiko des Kontamination gesenkt wird und die Effektivität der Gesamtausrüstung verbessert wird.