Aluminiumoxidmontage -Basisplatten

Semicorex-Alumina-Montage-Basisplatten sind hochpurige Keramikprodukte, die als stabile und stabile Basis für Montagearbeiten in Halbleiterfabrikgeräten ausgelegt sind. Diese Platten bieten eine kritische mechanische Unterstützung und Ausrichtung für Waferverarbeitungsvorgänge wie Lithographie, Radierung, Ablagerung und Inspektion. Es ist wichtig, die Arbeiten genau an anderen Systemkomponenten auszurichten, um sicherzustellen, dass die Waferverarbeitung mit der erforderlichen Treue auftreten kann. Die Platten werden durch Verarbeitungstechniken hergestellt, die für Keramik spezifisch sind, um die notwendige Flachheit, Hochtemperaturdauer und langfristige Zuverlässigkeit zu erreichen, um die strengen Anforderungen der modernen Halbleiterherstellung sowohl in der Prozess- als auch in Reinraumumgebungen zu erfüllen.

Semikorex-Aluminiumoxid-Basisplatten werden aus hoher Purity hergestelltAluminamit einem Reinheitsstufe ≧ 99,5% (typisch). Ein hochreines Aluminiumoxid hat gute mechanische und thermische Eigenschaften sowie Härte. Die hochreines Aluminiumoxid hat hervorragende inhärente elektrische Isoliereigenschaften, mit denen diese Platten auch in Vakuum- und Hochspannungsanwendungen verwendet werden können, bei denen elektrische Interferenzen ein Problem sein können. Die Aluminiumoxid wird gegen thermisches Radfahren resistent sein, wodurch die Platten eine bessere dimensionale Genauigkeit als die meisten Materialien aufrechterhalten können und für die Aufrechterhaltung der Ausrichtung oder der strukturellen Stabilität aufgrund einer verringerten thermischen Ausdehnung von Vorteil sind. Dieser Faktor ist wichtig, um die Wiederholbarkeit von Chuck und implizite Prozesstoleranzen sicherzustellen und gleichzeitig über erweiterte Produktionszyklen zu arbeiten.

In Halbleiterverarbeitungssystemen ist eine Montage -Grundplatte nicht nur ein Gerät für die mechanische Befestigung. Es ist das Medium des thermischen Kontakts zwischen dem Chuck und dem Rest der Ausrüstung und für die thermische Dissipation, die strukturelle Integrität und die Vibrationsisolierung von entscheidender Bedeutung. Verarbeitungsaktionen wie (aber nicht beschränkt auf) CVD-, PVD- oder Ionenimplantation, bei denen hohe Temperaturen und Vakuumdrücke üblich sind, erfordern eine Montagebasis, um thermisch resistent, chemisch inerkt und resistent, mechanisch schall und resistent gegen thermischen Stoßdämpfer. Die chemische Trägheit ist von entscheidender Bedeutung, da ein Reittier mit reaktiven Gasen und Reinigungschemien kompatibel sein muss, die Nutzungsdauer des Reittiers und Verhinderung von Kontaminationen verlängert.

Jede von Semicorex hergestellte Aluminiumoxid -Basisplatte wird zu Toleranzen bearbeitet, die von Halbleiter -OEMs und Geräteintegratoren gefordert werden. Die Platten sind auf enge Toleranzen für Dicke, Höhenschwankungen und Flachheit bearbeitet, um maximale Stabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Diese Befestigungsplatten können mit Befestigungslöchern, Slots oder Counterversinken zu Kundenspezifikationen hergestellt werden, um Arbeiten, mechanische Stufen oder andere Geräte besser aufzunehmen. Die Aluminiumoxid -Keramik wird unter Verwendung moderner Sinter- und Präzisionstechniken verarbeitet, um eine gleichmäßige Mikrostruktur und Oberflächenqualität zu optimieren, um einen konsistenten thermischen Kontakt und eine konsistente thermische Kontakt- und Ausrichtung für die Verwendung im Laufe der Zeit zu gewährleisten.

Semicorex -Alumina -Montage -Basisplatten werden in verschiedenen Anwendungen verwendet, darunter Waferhandler, Roboterübertragungssysteme, Vakuum -Chuck -Baugruppen und Metrologiestadien. Diese Zuverlässigkeit und Haltbarkeit in einer Vielzahl von anspruchsvollen Prozesssituationen macht sie zum Produkt der Wahl mit Werkzeugherstellern, die nach robusten, langlebigen und wartungsarmen Keramikkomponenten suchen. Unsere Engineering Group arbeitet mit Kunden zusammen, um einzigartige Lösungen bereitzustellen, die für jede Platte angegeben sind, um die Effizienz für die Produktion in einem Halbleiter zu maximieren.

Aluminiumoxid -Montage -Basisplatten sind mehr als nur eine mechanische Unterstützung; Es ist eine Schlüsselkomponente in der Präzisionstechnik in der Halbleiterindustrie. Mit ausgezeichneter mechanischer Stabilität, Reinheit und Konfigurierbarkeit sorgen sie für eine genaue Ausrichtung, lange Lebensdauer und zuverlässige Betriebsbetrieb in einem umfangreichen Bereich von Prozesswerkzeugen. Für Hochleistungs -Montage -Basisplatten, die die hohen Erwartungen der heutigen Halbleiterhersteller, Trust Semicorex, erfüllen.