Aluminiumoxid-Keramik-Manipulator

Manipulator aus Aluminiumoxidkeramikwird auch Endeffektor für die Handhabung von Gabeln und Wafern aus Aluminiumoxidkeramik genannt. Es ist am Wafer-Handling-Roboter installiert und entspricht der Hand des Roboters. Es dient dem Tragen, Transportieren und Positionieren von Halbleiterwafern.Siliziumwafersind extrem anfällig für Verunreinigungen durch andere Partikel, daher werden sie normalerweise in einer Vakuumumgebung gehandhabt, um Sauberkeit zu gewährleisten. Manipulatoren aus Aluminiumoxidkeramik nutzen Unterdruck, um Wafer zu entfernen und Halbleiterwafer durch die Teleskop-, Dreh- und Hebebewegungen des Arms zu transportieren. Im Inneren des Aluminiumoxid-Keramik-Manipulators befinden sich Luftlöcher und Belüftungsrillen, die beim Pumpen von Luft ein Vakuum erzeugen können, sodass die Halbleiterwafer durch leichten Kontakt adsorbiert werden können, ohne die Halbleiterwafer einzuklemmen oder zu beschädigen.

Es ist bekannt, dass die Zusammensetzung umso reiner istAluminiumoxidkeramikist, desto höher wird seine Stärke sein. Semicorex-Aluminiumoxid-Keramik-Manipulatoren bestehen aus hochreiner Aluminiumoxid-Keramik. Dies führt zu einer außergewöhnlichen mechanischen Festigkeit und Härte. Ihre Verschleißfestigkeit übertrifft die von Stahl und Chromstahl bei weitem, sodass sie auch in Umgebungen mit hoher Reibung über einen langen Zeitraum ihre Oberflächengenauigkeit beibehalten, das Risiko von Wafer-Kratzern verringern und sie ideal für die hochpräzise Handhabung machen. Dieser Aluminiumoxid-Keramik-Manipulator hat einen hohen spezifischen Widerstand. Seine hervorragenden elektrischen Isolationseigenschaften können elektrostatische Störungen wirksam verhindern und das Risiko der Partikeladsorption verringern, um eine saubere Waferoberfläche zu gewährleisten. Darüber hinaus beinhaltet der Halbleiterherstellungsprozess komplexe Schaltkreise und Hochspannungsumgebungen innerhalb der Ausrüstung. Der Manipulator aus hochohmiger Aluminiumoxidkeramik blockiert effektiv die Stromleitung und gewährleistet so die elektrische Sicherheit bei der Handhabung von Halbleiterwafern. Dank der hohen Temperaturbeständigkeit und thermischen Stabilität von Aluminiumoxidkeramik verformt sich der Manipulator während des Halbleiter-Wärmebehandlungsprozesses nur sehr wenig, kann Wafer präzise positionieren und Präzisionsabweichungen durch thermische Verformung vermeiden. Darüber hinaus verfügt dieses Material über eine hervorragende chemische Stabilität und ist äußerst beständig gegen Korrosion durch Säuren, Laugen, geschmolzene Metalle usw. Es reagiert nicht leicht mit anderen Substanzen und setzt umweltschädliche Partikel frei und kann Halbleiterteile wirksam vor chemischer Kontamination schützen.