Alumina-Bernoulli-Roboterarme

​Roboterarme werden hauptsächlich in den Front-End-Prozessen der Halbleiterfertigung wie Fotolithographie und Ätzen eingesetzt, wo sie direkt an der Handhabung, dem Transport und der Positionierung von Halbleiterwafern beteiligt sind. SemicorexAluminiumoxidBernoulli-Roboterarme sind keramische Endeffektoren, die die Waferadsorption und -übertragung auf der Grundlage des Bernoulli-Prinzips erreichen und eine außergewöhnliche Leistung in Bezug auf Sauberkeit, Stabilität, Präzision, Effizienz und Zuverlässigkeit bieten.

Berührungslose Adsorption

Semicorex-Aluminiumoxid-Bernoulli-Roboterarme können durch die Verwendung ihrer speziell entwickelten Konfiguration und ihres Luftstromsystems eine feste und stabile berührungslose Adsorption von Wafern erreichen. Durch diese berührungslose Betriebsmethode kann ein direkter Kontakt mit Halbleiterwafern vermieden und eine Kontamination oder Beschädigung der Wafer durch physischen Kontakt erheblich verhindert werden, was insbesondere bei hochreinen Arbeitsbedingungen und einem empfindlichen Wafertransfer sinnvoll ist.

Zuverlässige physikalische und chemische Leistung

Aluminiumoxidkeramik zeichnet sich durch hervorragende Härte und Festigkeit aus und macht Semicorex zu Aluminiumoxid BernoulliRoboterarmegut geeignet für die langfristige Handhabung von Halbleiterwafern ohne Verformung und Beschädigung.

Semicorex-Aluminiumoxid-Bernoulli-Roboterarme bieten außerdem eine zuverlässige chemische Korrosionsbeständigkeit und halten den anspruchsvollen korrosiven Gasen und Plasma-Betriebsumgebungen stand und weisen eine konstante Haltbarkeit über einen langen Zeitraum auf.

Strenge Sauberkeitskontrolle

Semicorex-Alumina-Bernoulli-Roboterarme werden aus hochreinem Aluminiumoxidpulver durch präzises isostatisches Pressen und Hochtemperatursintern hergestellt. Diese präzise Materialauswahl und Verarbeitungsmethode ermöglicht Semicorex-Aluminiumoxid-Bernoulli-Roboterarmen mit einer reinen und dichten Keramikstruktur. Dadurch wird das Risiko einer Waferkontamination durch unerwünschte Verunreinigungen aus den Betriebsbedingungen erheblich verringert.

Überlegene Präzisionssteuerung

Die durch präzises Schleifen und Polieren veredelten Semicorex-Aluminiumoxid-Bernoulli-Roboterarme bieten außergewöhnliche Maßhaltigkeit und hervorragende Oberflächenebenheit, wodurch sie sich hervorragend für die hochpräzise automatisierte Halbleiterfertigung eignen. Darüber hinaus zeichnen sich die Semicorex-Aluminiumoxid-Bernoulli-Roboterarme durch eine hervorragende thermische Stabilität aus, selbst wenn sie Umgebungen mit starken Temperaturschwankungen ausgesetzt sind, und können eine hervorragende wiederholte Positionierung und Handhabungspräzision aufrechterhalten.