Waferkantenschlitzung

Semicorex Wafer Edge Mahling Chuck ist ein dediziertes Keramikteil für den Wafer -Edge -Schleifprozess während der Herstellung von Halbleiter. Die Keramik besteht aus hoher Reinheit, weißem Aluminiumoxid (Aluminiumoxid) mit mechanischer Stärke, chemischer Resistenz und dimensionaler Stabilität, um den Wafer -Schleifprozess zu unterstützen. Da neue Technologien größere Waferdurchmesser und empfindlichere Strukturen in den Geräten erfordern, spielt das Schleifen von Waferkanten nun eine wichtige Rolle bei der Vorbeugung von Kantenausbrüchen, Mikroverdünnungen und Erträgen. Das Aluminiumoxid -Keramik -Schleifen bietet eine stetige Grundlinie, auf der diese strengen Fertigungsanforderungen erfüllt werden können.

Aluminina -Keramikwird aufgrund seiner unglaublichen physikalischen, chemischen und thermischen Eigenschaften als Konstruktionsmaterial verwendet. Weiße Alumina hat eine hervorragende Härte mit nur dem Diamanten, die auf der Härte des MOHS höher rangiert, wodurch das Schleifhäuschen in absehbare Zeit mit sich wiederholten Gebrauch standhalten kann. Angesichts der beträchtlichen mechanischen Stärke von Aluminiumoxid kann der Wafer sicher erfasst und gehalten werden, während die Starrheit der Aluminiumoxid keine Verzerrung oder Verformung zulässt, wenn die Belastung auf den Teil angewendet wird. In Anbetracht dessen ist Alumina eine ausgezeichnete Wahl, um Vorrichtungen und Unterstützungen zu produzieren, bei denen Präzision und Haltbarkeit erforderlich sind.

Die thermische Stabilität ist auch ein charakteristisches Merkmal der Aluminiumoxidkeramik. Mit einem Schmelzpunkt von mehr als 2000 ° C und einer thermischen Stoßdichtheit kann das Läuten unter Bedingungen laufen, bei denen eine reibungslose Erwärmung oder Temperaturänderung auftreten kann. Es ist konsistent w.r.t, wo die dimensionale Stabilität kritisch ist, obwohl die Schleifkantenform ein wenig Veränderung der Dimension verleiht. Die Klemmkraft bleibt stark, um eine konsequente Aufrechterhaltung der Ausrichtung des Kantenschleifens aufrechtzuerhalten. Die niedrige thermische Leitfähigkeit von Aluminiumoxid sollte nicht ermöglichen, dass die lokalisierte Erwärmung den Wafer ausreicht, um die Integrität des Wafers bei der Verarbeitung empfindlicher Substrate -Halbleiter zu erfüllen.

Aus chemischer Sicht reagiert Aluminiumoxidkeramik nur wenig auf Säuren, Alkalien und die Plasmaumgebungen der Halbleiterverarbeitung. Im Gegensatz zu metallischen Chicks, die möglicherweise ohne explizite Überwachung abbauen können oder polymere Vorrichtungen abbauen können, ist die Aluminiumoxidkeramik immun gegen diese täglichen Servicezyklen in der Halbleiterverarbeitung. Diese Inertheit sorgt für eine Verunreinigung der Waferoberfläche und behält die Reinheit des Prozesses bei, während jeder Ertragsverlust begrenzt wird.

In der heutigen Halbleiter-Herstellungslandschaft ist der Vorgang des Kantenschleifs facettenreich: Es bereitet den Wafer auf die anschließende Verarbeitung vor und bietet auch einen sicheren Transport, Handling und Integration in die fortschrittlichsten Lithographie- und Ätzwerkzeuge. Darin ist das Wafer Edge -Schleifen ein wichtiges Puzzleteil, um den Wafer sicher zu befestigen und genau zu halten, und trägt direkt zur Zuverlässigkeit und Produktleistung von Wafer bei. Mit der Investition in Alumina -Keramik wird die Zeit gespeichert, indem die verlängerte Langlebigkeit eines solchen Vermögenswerts zur Begrenzung der Ausfallzeiten, zur Reduzierung der Teilekosten und zur Maximierung der Effektivität der Ausrüstung (OEE) eingespart wird.

Das Waferkantenschlitzung ausAluminiumoxidkeramikrepräsentiert alle Vorteile von ausgefeilter Materialwissenschaft und Präzisionstechnik. Es veranschaulicht die Eigenschaften von Härte, Verschleißfestigkeit, thermischer Stabilität und chemischer Inertheit, die für den Herstellungsprozess des Halbleiterwafers erforderlich sind. Eine robuste Leistung kann zu einer zuverlässigen Waferkantenqualität, einer guten Ausbeute und einer verlängerten Lebensdauer des Geräts führen. Bei Halbleiterherstellern, die sich einer einwandfreien Präzision und Effizienz verpflichten, ist das Aluminiumoxid -Wafer -Rand -Schleifen die Lösung.