Mit Tantalkarbid beschichteter Ring

Der mit Tantalkarbid beschichtete Ring von Semicorex ist eine entscheidende Komponente für die Halbleiterverarbeitung. Es ist mit einer speziellen Beschichtung ausgestattet, die mehrere Funktionen erfüllt, um die Effizienz und Langlebigkeit von Graphitkomponenten in Halbleitermaschinen zu verbessern. Diese TaC-Beschichtung ist so konzipiert, dass sie extremen Bedingungen standhält und in Umgebungen mit hohen Temperaturen eine optimale Leistung aufrechterhält und einen zuverlässigen Betrieb auch bei Temperaturen über 2200 °C gewährleistet.

Zu den wichtigsten Merkmalen und Vorteilen des mit Tantalcarbid beschichteten Rings gehören:

Verlängerte Lebensdauer: Die Hauptfunktion der Beschichtung auf mit Tantalcarbid beschichteten Ringen besteht darin, die Lebensdauer von Graphitkomponenten zu verlängern, indem sie eine Schutzbarriere gegen chemische Reaktionen bietet und verhindert, dass Verunreinigungen in äußere Schichten wandern und Kristallwachstum entstehen. Dies erhöht die Betriebslebensdauer erheblich und reduziert die Wartungshäufigkeit.

Temperaturstabilität: Die außergewöhnliche Temperaturstabilität ermöglicht den zuverlässigen Betrieb des mit Tantalkarbid beschichteten Rings unter extremen Hitzebedingungen und gewährleistet eine gleichbleibende Leistung in Halbleiterverarbeitungsumgebungen, in denen hohe Temperaturen vorherrschen.

Chemische Beständigkeit: Die Beschichtung des mit Tantalkarbid beschichteten Rings bietet Beständigkeit gegen verschiedene aggressive Chemikalien wie Wasserstoff (H2), Ammoniak (NH3), Silan (SiH4) und Silizium (Si) und bietet entscheidenden Schutz in chemisch aggressiven Umgebungen, die häufig in der Halbleiterindustrie vorkommen Herstellungsprozesse.

Thermoschockbeständigkeit: Die verbesserte Thermoschockbeständigkeit des mit Tantalkarbid beschichteten Rings minimiert das Risiko von Strukturschäden bei schnellen Temperaturschwankungen, beschleunigt dadurch die Betriebszyklen und verbessert die Gesamteffizienz.

Starke Haftung auf Graphit: Die Beschichtung des mit Tantalcarbid beschichteten Rings weist eine starke Haftung auf Graphitsubstraten auf und verhindert so Delaminierungsprobleme, die häufig mit Beschichtungen einhergehen. Dies gewährleistet eine längere Lebensdauer und eine gleichbleibende Leistung ohne das Risiko einer Beschichtungsablösung.

Hohe Reinheit: Mit ultrahohen Reinheitsgraden trägt der mit Tantalkarbid beschichtete Ring dazu bei, unnötige Verunreinigungen oder Verunreinigungen zu beseitigen, stellt die Integrität und Sauberkeit der Halbleiterverarbeitung sicher und trägt so zu höheren Erträgen und verbesserten Qualitätsergebnissen bei.