Mit Tantalkarbid beschichtete Führungsringe

Führungsringe werden typischerweise über dem Graphittiegel innerhalb des Wärmefeldsystems installiert. Sie arbeiten mit dem Tiegel, der Heizung und dem Wärmeisolationszylinder sowie anderen Halbleiterkomponenten zusammen, um die Verteilung von Wärme und Prozessgasen zu leiten und zu steuern.

Die AVorteilevon TAntalum-Karbidbeschichtung

Bekannt für die überragende Leistung vonTaC-BeschichtungBei Halbleiter-Einkristallwachstumsanwendungen der dritten Generation bietet die Tantalcarbid-Beschichtung die folgenden Vorteile:

1. Außergewöhnliche thermische Stabilität

Tantalcarbid zeichnet sich durch eine hervorragende thermische Beständigkeit und einen ultrahohen Schmelzpunkt von 3880℃ aus. Aufgrund dieser außergewöhnlichen thermischen Stabilität können die mit Tantalkarbid beschichteten Führungsringe von Semicorex stabil in Hochtemperaturumgebungen unter 2500 °C eingesetzt werden. Darüber hinaus minimiert die Kombination dieser beiden Materialien das Risiko von Rissen und Abblättern der Beschichtung durch Temperaturschwankungen, was die strukturelle Integrität des Bauteils bei wiederholten Erwärmungs- und Abkühlungsprozessen erheblich gewährleistet.

2.Bemerkenswerte Korrosionsbeständigkeit

Tantalkarbid weist eine bemerkenswerte Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit auf und ist gegenüber den meisten reaktiven Gasen wie Ammoniak, Wasserstoff und Silizium chemisch inert. Aufgrund dieser chemischen Stabilität verhindern die mit Tantalkarbid beschichteten Führungsringe von Semicorex wirksam, dass reaktive Gase die Matrix erodieren und ihre strukturelle Integrität beschädigen, und vermeiden gleichzeitig das Risiko einer Kontamination durch Reaktanten und Verunreinigungen, die in die Kristallstruktur eindringen.

Die Leistung der mit Tantalkarbid beschichteten Führungsringe von Semicorex

Semicorexmit Tantalkarbid beschichtete FührungsringeVerwenden Sie hochreinen Graphit als Matrix und scheiden Sie die TaC-Beschichtung mittels CVD-Technologie auf der Oberfläche ab. Durch die Kombination dieser beiden Materialien bieten die mit Tantalkarbid beschichteten Führungsringe von Semicorex die folgenden Vorteile:

1.Gasflussführung und Strömungsfeldoptimierung

Während des Kristallwachstums trägt der Einsatz von Führungsringen dazu bei, die Strömungsverteilung innerhalb des Wärmefelds zu optimieren und reaktive Gase in eine kontrollierbare Strömungsrichtung und gleichmäßige Verteilung zu lenken. Dank ihres speziellen Strukturdesigns können die mit Tantalkarbid beschichteten Führungsringe von Semicorex das Gas so leiten, dass es gleichmäßig strömt und verteilt, wodurch übermäßig hohe oder niedrige lokale Gaskonzentrationen effektiv vermieden werden.

2. Temperaturregulierung und Wärmefeldoptimierung

Die mit Tantalkarbid beschichteten Führungsringe von Semicorex weisen eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit auf und spielen eine entscheidende Rolle bei der Regulierung der Temperaturverteilung und der Bereitstellung eines stabilen Temperaturfelds für das Kristallwachstum. Beispielsweise können mit Tantalkarbid beschichtete Führungsringe von Semicorex dazu beitragen, den Temperaturgradienten beim PVT-Wachstum von Siliziumkarbidkristallen aufrechtzuerhalten und sicherzustellen, dass sich die Materialien unter geeigneten Bedingungen zersetzen, transportieren und kristallisieren.