TaC-Beschichtung oberer Halbmond

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon ist eine Spezialkomponente, die für leistungsstarke Epitaxieprozesse in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon ist eine speziell entwickelte Komponente, die auf die Erzielung hocheffizienter Epitaxieprozesse im Bereich der Halbleiterproduktion zugeschnitten ist. Das TaC Coating Upper Halfmoon-Teil ist so konzipiert, dass es nahtlos in Epitaxiereaktoren passt und außergewöhnliche Haltbarkeit und Stabilität unter extremen Bedingungen bietet.

Die TaC-Beschichtung bietet eine hervorragende Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und macht TaC Coating Upper Halfmoon ideal für die anspruchsvollen thermischen Umgebungen epitaktischer Prozesse. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Leistung und Langlebigkeit und reduziert die Häufigkeit von Austauschen und Ausfallzeiten. Der obere Halbmond mit TaC-Beschichtung hält korrosiven Gasen und Chemikalien stand, die üblicherweise beim epitaktischen Wachstum verwendet werden, schützt so die Integrität des Bauteils und erhält die Reinheit des Prozesses aufrecht.

Die glatte und gleichmäßige TaC-Beschichtung verbessert die Qualität epitaktischer Schichten durch die Minimierung von Defekten und Verunreinigungen. Dies trägt zu höheren Ausbeuten und besseren elektronischen Eigenschaften der Halbleiterbauelemente bei. Die Kombination aus thermischer und chemischer Beständigkeit verlängert die Lebensdauer des TaC Coating Upper Halfmoon und bietet eine kostengünstige Lösung zur Aufrechterhaltung eines hohen Durchsatzes und einer hohen Effizienz bei der Halbleiterfertigung.

Anwendungen:

Hochtemperatur-CVD-Prozesse (Chemical Vapour Deposition).

Epitaxie von Siliziumkarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN).

Technische Spezifikationen:

Material: Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung

Temperaturbereich: Bis zu 2200 °C

Chemische Beständigkeit: Hervorragend gegen HF, HCl und andere korrosive Gase

Abmessungen: Anpassbar an bestimmte Reaktormodelle

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon ist eine wesentliche Komponente für die Erzielung hochwertiger Epitaxieschichten mit verbesserter Effizienz und reduzierten Kontaminationsrisiken. Seine fortschrittlichen Materialeigenschaften und seine präzise Konstruktion machen es zu einem wertvollen Aktivposten in der Halbleiterindustrie und unterstützen die Produktion elektronischer Geräte der nächsten Generation.