TaC-beschichtete Planetenplatte

Die TaC-beschichtete Planetenplatte von Semicorex ist eine Hochleistungskomponente, die speziell für MOCVD-Systeme entwickelt wurde. Diese Planetenplatte mit TaC-Beschichtung wurde für optimale Haltbarkeit und thermische Stabilität entwickelt und ist für die Gewährleistung einer gleichmäßigen Abscheidung und eines hochwertigen Filmwachstums in Halbleiterfertigungsprozessen unerlässlich.

Die Planetenplatte mit TaC-Beschichtung ist aus hochwertigem Tantalkarbid gefertigt, das für seine außergewöhnliche Härte, Wärmeleitfähigkeit und Beständigkeit gegen chemische Korrosion bekannt ist und eine längere Lebensdauer und konstante Leistung unter Hochtemperaturbedingungen gewährleistet. Die hervorragende thermische Stabilität von Tantalkarbid stellt sicher, dass die Platte den extremen Temperaturen standhält, die bei MOCVD-Prozessen auftreten, und sorgt so für strukturelle Integrität und Leistungskonsistenz.

Geeignet für eine Vielzahl von MOCVD-Anwendungen, einschließlich der Abscheidung von III-V-Halbleitern, Nitriden, Oxiden und anderen Verbundmaterialien. Das Design der TaC-beschichteten Planetenplatte ist für verschiedene Reaktorkonfigurationen und Substratgrößen geeignet und bietet Flexibilität für unterschiedliche Fertigungsanforderungen.

Investieren Sie in die TaC-beschichtete Planetenplatte von Semicorex, um eine unübertroffene Zuverlässigkeit und Effizienz in Ihren Halbleiterprozessen zu erreichen. Es wurde speziell für die Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt und ist ein Beweis für modernste Technik und Materialwissenschaft.