TaC-beschichteter Wafer-Rezeptor

Der TaC-beschichtete Wafer-Suszeptor von Semicorex ist eine entscheidende Komponente, die in MOCVD-Öfen (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition) für die epitaktische Halbleiterverarbeitung (EPI) verwendet wird. Dieser spezielle runde Suszeptor ist aus hochwertigem Graphitmaterial gefertigt und verfügt über eine einzigartige Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung.

Der Hauptzweck der TaC-Beschichtung besteht darin, die Leistung und Haltbarkeit des TaC-beschichteten Wafer-Suszeptors unter den anspruchsvollen Bedingungen von Halbleiterfertigungsprozessen zu verbessern. Tantalkarbid ist bekannt für seine außergewöhnliche Härte, seinen hohen Schmelzpunkt sowie seine Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit. Diese Eigenschaften machen TaC-beschichtete Wafer-Suszeptoren zu einer idealen Wahl, um den darunter liegenden Graphit-Suszeptor vor chemischen Reaktionen und physikalischen Belastungen zu schützen, die im MOCVD-Ofen auftreten.

TaC-beschichtete Wafer-Suszeptoren spielen eine entscheidende Rolle beim epitaktischen Wachstum von Halbleitermaterialien, indem sie die Abscheidung dünner Filme auf Wafern erleichtern. Seine Fähigkeit, hohen Temperaturen und rauen chemischen Umgebungen standzuhalten, ist entscheidend für die präzise und zuverlässige Herstellung von Halbleiterbauelementen.

Der TaC-beschichtete Wafer-Suszeptor mit seinem Graphitkern und der Tantalkarbid-Beschichtung sorgt für eine konsistente und gleichmäßige Wärmeverteilung und trägt so zur Reproduzierbarkeit und Qualität der während des MOCVD-Prozesses gewachsenen Halbleiterschichten bei. Diese fortschrittliche Materialkombination macht es zu einer zuverlässigen und langlebigen Lösung für die Halbleiterfertigung, die den strengen Anforderungen der modernen Produktion elektronischer Geräte gerecht wird.