TaC-beschichteter Suszeptor

Der mit TaC beschichtete Suszeptor von Semicorex besteht aus einem Material auf Graphitbasis und ist mit Tantalkarbid (TaC) beschichtet, um seine Leistung und Haltbarkeit zu verbessern.

Tantalcarbid bietet eine außergewöhnliche thermische Stabilität, sodass der TaC-beschichtete Suszeptor extrem hohen Temperaturen standhalten kann, die häufig bei Prozessen wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) auftreten. Und die TaC-Beschichtung bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen chemische Reaktionen, Oxidation und Korrosion, was für die Aufrechterhaltung der Integrität und Leistung in rauen chemischen Umgebungen von entscheidender Bedeutung ist.

Die gleichmäßigen und stabilen thermischen Eigenschaften von TaC Coated Susceptor verbessern die Konsistenz und Qualität der Prozesse, in denen sie verwendet werden, und führen so zu einer besseren Ausbeute und Effizienz bei der Halbleiterherstellung.

Gleichzeitig minimiert die Verwendung von TaC im TaC-beschichteten Suszeptor das Risiko einer Kontamination in Halbleiterprozessen, was für die Herstellung hochreiner und fehlerfreier elektronischer Komponenten von entscheidender Bedeutung ist.

Anwendungen von TaC-beschichteten Suszeptoren:

Halbleiterherstellung: Wird in CVD- und PVD-Prozessen verwendet, um dünne Filme und epitaktische Schichten auf Halbleiterwafern abzuscheiden.

LED-Produktion: Wird bei der Produktion von Leuchtdioden (LEDs) eingesetzt, wo präzise und stabile thermische Bedingungen erforderlich sind.

Herstellung von Solarzellen: Wird bei der Herstellung von Photovoltaikzellen zur Verbesserung der Effizienz und Zuverlässigkeit verwendet.

Semicorex TaC-beschichtete Suszeptoren sind in fortschrittlichen Herstellungsprozessen von entscheidender Bedeutung, bei denen hohe thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und Haltbarkeit erforderlich sind. Ihr Einsatz gewährleistet eine verbesserte Leistung, Langlebigkeit und Produktqualität in High-Tech-Industrien.