Siliziumkarbidkeramik (SiC) ist ein fortschrittliches Keramikmaterial, das Silizium und Kohlenstoff enthält. Körner aus Siliziumkarbid können durch Sintern zu sehr harten Keramiken verbunden werden. Semicorex liefert maßgeschneiderte Siliziumkarbidkeramik nach Ihren Wünschen.
Anwendungen
Bei Siliziumkarbidkeramik bleiben die Materialeigenschaften bis zu Temperaturen über 1.400 °C konstant. Der hohe Elastizitätsmodul > 400 GPa sorgt für eine hervorragende Dimensionsstabilität.
Eine typische Anwendung für Bauteile aus Siliziumkarbid ist die dynamische Dichtungstechnik mit Gleitlagern und Gleitringdichtungen, beispielsweise in Pumpen und Antriebssystemen.
Aufgrund der fortschrittlichen Eigenschaften eignen sich Siliziumkarbidkeramiken auch ideal für den Einsatz in der Halbleiterindustrie.
Waferboote →
Das Semicorex Wafer Boat besteht aus gesinterter Siliziumkarbidkeramik, die eine gute Korrosionsbeständigkeit und eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Thermoschock aufweist. Fortschrittliche Keramik bietet eine hervorragende thermische Beständigkeit und Plasmabeständigkeit und reduziert gleichzeitig Partikel und Verunreinigungen für Waferträger mit hoher Kapazität.
Reaktionsgesintertes Siliziumkarbid
Im Vergleich zu anderen Sinterverfahren ist die Größenänderung beim Reaktionssintern während des Verdichtungsprozesses gering und es können Produkte mit präzisen Abmessungen hergestellt werden. Das Vorhandensein einer großen Menge SiC im Sinterkörper verschlechtert jedoch die Hochtemperaturleistung von reaktionsgesinterten SiC-Keramiken.
Drucklos gesintertes Siliziumkarbid
Drucklos gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) ist eine besonders leichte und zugleich harte Hochleistungskeramik. SSiC zeichnet sich durch eine hohe Festigkeit aus, die auch bei extremen Temperaturen nahezu konstant bleibt.
Rekristallines Siliziumkarbid
Rekristallisiertes Siliziumkarbid (RSiC) sind Materialien der nächsten Generation, die durch Mischen von hochreinem Siliziumkarbid-Grobpulver und hochaktivem Siliziumkarbid-Feinpulver und nach dem Verfugen durch Vakuumsintern bei 2450 ° C zur Rekristallisation entstehen.
Das aus Siliziumkarbid von außergewöhnlicher Reinheit gefertigte Semicorex SiC-Boot für die Wafer-Handhabung verfügt über eine Konstruktion mit Präzisionsschlitzen zur Sicherung der Wafer, die jede Bewegung während der Betriebsabläufe eindämmen. Die Wahl von Siliziumkarbid als Material gewährleistet nicht nur Härte und Widerstandsfähigkeit, sondern auch die Fähigkeit, erhöhten Temperaturen und der Einwirkung von Chemikalien standzuhalten. Dies macht das SiC-Boot für das Wafer-Handling zu einer zentralen Komponente in einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsschritten, wie z. B. der Kristallzüchtung, Diffusion, Ionenimplantation und Ätzprozessen.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex Wafer Boat Carrier gilt als Innovationsspitze im Bereich der Halbleiterverarbeitung. Dieser Träger wurde sorgfältig aus Graphit gefertigt und mit einer hochmodernen Beschichtung aus durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) hergestelltem Siliziumkarbid (SiC) verstärkt. Dieser Träger ist ein Beispiel für Präzisionstechnik und fortschrittliche Materialwissenschaft. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Semicorex Baffle Wafer Boat ist ein hochentwickeltes Gerät für die Halbleiterverarbeitung. Es wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Waffeln während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas SiC-Vakuumspannfutter von Semicorex stellt ein Höchstmaß an Präzisionstechnik dar, das auf die anspruchsvolle Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Dieses innovative Gerät besteht aus Graphitsubstraten und wird durch modernste CVD-Techniken (Chemical Vapour Deposition) verbessert. Es integriert nahtlos die unvergleichlichen Eigenschaften der Siliziumkarbid-Beschichtung (SiC). Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC Wafer Chuck gilt als Spitzenreiter der Innovation in der Halbleiterfertigung und dient als entscheidende Komponente im komplexen Prozess der Halbleiterfertigung. Dieses mit größter Präzision und modernster Technologie gefertigte Spannfutter spielt eine unverzichtbare Rolle bei der Unterstützung und Stabilisierung von Siliziumkarbid-Wafern (SiC) in verschiedenen Produktionsphasen. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
WeiterlesenAnfrage absendenDas Semicorex-Diffusionsofenrohr ist eine entscheidende Komponente in Halbleiterfertigungsanlagen und wurde speziell entwickelt, um präzise und kontrollierte Reaktionen zu ermöglichen, die für Halbleiterfertigungsprozesse unerlässlich sind. Als Primärgefäß innerhalb der Reaktionszone eines Halbleiterofens spielt das Diffusionsofenrohr eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Integrität und Qualität der hergestellten Halbleiterbauelemente. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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