Semicorex ist Ihr Partner für Verbesserungen in der Halbleiterverarbeitung. Unsere Siliziumkarbidbeschichtungen sind dicht, hochtemperatur- und chemikalienbeständig und werden häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung eingesetzt, einschließlich der Halbleiterwafer- und Waferverarbeitung sowie der Halbleiterfertigung.
Hochreine SiC-Keramikkomponenten sind für Prozesse im Halbleiter von entscheidender Bedeutung. Unser Angebot reicht von Verbrauchsteilen für Wafer-Verarbeitungsgeräte wie Siliziumkarbid-Waferboote, Cantilever-Paddel, Rohre usw. für Epitaxie oder MOCVD.
Vorteile für Halbleiterprozesse
Die Dünnschichtabscheidungsphasen wie Epitaxie oder MOCVD oder die Wafer-Handhabungsprozesse wie Ätzen oder Ionenimplantation müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex liefert eine Konstruktion aus hochreinem Siliziumkarbid (SiC), die eine hervorragende Hitzebeständigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit sowie eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht bietet.
Kammerdeckel →
Kammerdeckel, die beim Kristallwachstum und bei der Wafer-Handhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten.
Auslegerpaddel →
Cantilever Paddle ist eine entscheidende Komponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird, insbesondere in Diffusions- oder LPCVD-Öfen bei Prozessen wie Diffusion und RTP.
Prozessrohr →
Das Prozessrohr ist eine entscheidende Komponente, die speziell für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie RTP und Diffusion entwickelt wurde.
Wafer-Boote →
Wafer Boat wird in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt und wurde sorgfältig entwickelt, um sicherzustellen, dass die empfindlichen Wafer während der kritischen Produktionsphasen sicher aufbewahrt werden.
Einlassringe →
SiC-beschichteter Gaseinlassring durch MOCVD-Ausrüstung. Das Compound-Wachstum weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf, was eine große Stabilität in extremen Umgebungen bietet.
Fokusring →
Semicorex liefert einen mit Siliziumkarbid beschichteten Fokusring, der wirklich stabil für RTA, RTP oder aggressive chemische Reinigung ist.
Waffelfutter →
Die ultraflachen Keramik-Vakuum-Wafer-Chucks von Semicorex sind mit hochreinem SiC beschichtet und werden im Wafer-Handhabungsprozess verwendet.
Semicorex bietet auch Keramikprodukte aus Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumnitrid (Si3N4), Aluminiumnitrid (AlN), Zirkonoxid (ZrO2), Verbundkeramik usw. an.
Der Semicorex-Siliziumkarbid-Wafer-Chuck ist eine wesentliche Komponente im Halbleiter-Epitaxieprozess. Es dient als Vakuumspannvorrichtung, um Wafer während kritischer Fertigungsphasen sicher zu halten. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen zu liefern und positionieren uns als Ihr langfristiger Partner in China.*
WeiterlesenAnfrage absendenSemicorex SiC Ceramic Chuck ist eine hochspezialisierte Komponente, die für den Einsatz in Halbleiter-Epitaxieprozessen entwickelt wurde, wo ihre Rolle als Vakuum-Chuck von entscheidender Bedeutung ist. Mit unserem Engagement, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen zu liefern, sind wir bereit, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.*
WeiterlesenAnfrage absendenDie Semicorex SiC ICP-Platte ist eine fortschrittliche Halbleiterkomponente, die speziell für die strengen Anforderungen moderner Halbleiterfertigungsprozesse entwickelt wurde. Dieses Hochleistungsprodukt wurde mit der neuesten Siliziumkarbid-Materialtechnologie (SiC) entwickelt und bietet beispiellose Haltbarkeit, Effizienz und Zuverlässigkeit, was es zu einem wesentlichen Bestandteil bei der Herstellung modernster Halbleiterbauelemente macht. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDie Semicorex SiC ICP-Ätzplatte ist eine fortschrittliche und unverzichtbare Komponente in der Halbleiterindustrie, die entwickelt wurde, um die Präzision und Effizienz von Ätzprozessen zu verbessern. Semicorex ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden*.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex Alumina End Effector hat sich zu einem unverzichtbaren Werkzeug im anspruchsvollen Bereich der Halbleiterfertigung entwickelt, wo selbst mikroskopische Unvollkommenheiten die Geräteleistung beeinträchtigen können. Die Rolle der präzisen Waferhandhabung kann nicht genug betont werden. Der Aluminiumoxid-Endeffektor bietet eine einzigartige Kombination aus Präzision, Reinheit und Haltbarkeit, die für die Handhabung empfindlicher Siliziumwafer in verschiedenen Herstellungsprozessen unerlässlich ist.**
WeiterlesenAnfrage absendenDas kundenspezifische SiC-Cantilever-Paddel von Semicorex ist zu einer unverzichtbaren Komponente in der Photovoltaikindustrie geworden und spielt eine entscheidende Rolle bei der effizienten und präzisen Handhabung von Siliziumwafern während Hochtemperatur-Diffusionsprozessen. Das kundenspezifische SiC-Cantilever-Paddel, das sorgfältig aus Hochleistungskeramik aus Siliziumkarbid (SiC) gefertigt wurde, bietet eine einzigartige Mischung von Eigenschaften, die für die Aufrechterhaltung der Waferintegrität, die Gewährleistung der Prozesseinheitlichkeit und die Maximierung der Produktivität in anspruchsvollen Diffusionsofenumgebungen unerlässlich sind.**
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